[發明專利]一種基于RGA的工藝過程控制方法及工藝過程控制系統

有效

• 申請號: 201610252324.3
• 申請日: 2016-04-21
• 公開（公告）號: CN107305365B
• 公開（公告）日: 2020-07-17
• 發明（設計）人: 劉學慶
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418
• 代理公司: 北京潤澤恒知識產權代理有限公司 11319
• 代理人: 趙娟

1.一種基于RGA的工藝過程控制系統，其特征在于，所述系統至少包括機臺Tool、殘余氣體分析儀RGA的傳感器RGA SENSOR、RGA的控制器Sensor Controller、工廠主機FabHost；其中，所述RGA SENSOR安裝在所述Tool的指定腔室內，所述Tool通過第一通信接口與所述Sensor Controller進行通信，用于將所述Tool的機臺信息發送至所述SensorController中；所述Tool通過第二通信接口與所述Fab Host進行通信，所述SensorController通過第三通信接口與所述Fab Host進行通信。

2.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，

所述Fab Host，用于生成作業任務，并將所述作業任務通過所述第二通信接口發送至所述Tool中，其中，所述作業任務包括多個子任務對象；

所述Tool，還用于從所述作業任務中選取一個子任務對象，作為目標子任務對象，在判斷所述目標子任務對象滿足預設的啟動規則時，生成觸發事件，并將所述觸發事件通過第一通信接口發送至所述Sensor Controller中，以及，在接收到所述Sensor Controller發送的控制命令時，執行所述控制命令，并生成處理結果，通過所述第二通信接口將所述處理結果發送至所述Fab Host中；

所述Sensor Controller，用于基于所述觸發事件，控制所述RGA SENSOR獲取所述指定腔室中的氣體成分數據，以及，在確定所述氣體成分數據具有匹配的預設告警等級時，依據所述匹配的預設告警等級生成對應的報警信息以及控制命令，并通過所述第三通信接口將所述報警信息及所述機臺信息發送至所述Fab Host中，以及，通過所述第一通信接口將所述控制命令發送至所述Tool中；

所述RGA SENSOR，用于獲取所述指定腔室中的氣體的氣體成分數據，并將所述氣體成分數據發送至所述Sensor Controller。

3.根據權利要求2所述的系統，其特征在于，所述Tool還用于：

在當前選取的子任務對象處理完畢以后，若所述作業任務仍然存在待處理的子任務對象，則選取下一子任務對象作為目標子任務對象。

4.根據權利要求2或3所述的系統，其特征在于，所述Tool還用于：在判斷所述目標子任務對象不滿足預設的啟動規則時，生成作業異常消息，并將所述作業異常消息發送至所述Fab Host中。

5.根據權利要求2或3所述的系統，其特征在于，所述目標子任務對象包括：目標wafer標識以及與所述目標wafer標識對應的傳輸路徑標識，其中，所述傳輸路徑標識對應的傳輸路徑中包含多個腔室標識以及與腔室標識對應的工藝標識；

所述Tool包括：

路徑確定模塊，用于依據所述目標wafer標識對應的傳輸路徑標識確定所述目標wafer標識對應的wafer傳輸路徑；

工藝判斷模塊，用于基于所述目標wafer標識對應的wafer傳輸路徑，判斷所述目標wafer標識對應的wafer是否需要執行指定工藝流程；

腔室判斷模塊，用于在判定所述目標wafer標識對應的wafer需要執行指定工藝流程時，判斷所述wafer是否能夠進入執行所述指定工藝流程的指定腔室中；

事件通知模塊，用于在判定所述wafer能夠進入所述指定腔室時，若檢測到所述wafer進入所述指定腔室，則生成觸發事件，并將所述觸發事件通過第一通信接口發送至所述Sensor Controller中。

6.根據權利要求5所述的系統，其特征在于，所述預設告警等級至少包括一級告警、二級告警以及三級告警，其中，所述一級告警的緊急程度大于所述二級告警，所述二級告警的緊急程度大于所述三級告警；所述一級告警對應一級報警信息以及一級控制命令、所述二級告警對應二級報警信息以及二級控制命令、所述三級告警對應三級報警信息以及三級控制命令。