[發(fā)明專利]高純氨槽車處理系統(tǒng)及其使用方法

在審

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• 申請日: 2016-04-20
• 公開（公告）號: CN105736935A
• 公開（公告）日: 2016-07-06
• 發(fā)明（設計）人: 李杰;趙曉蘭;潘偉;丁高松;嚴巍
• 申請（專利權）人: 海寧市英德賽電子有限公司
• 主分類號: F17C5/00
• 分類號: F17C5/00;F17C13/04
• 代理公司: 嘉興海創(chuàng)專利代理事務所(普通合伙) 33251
• 代理人: 鄭文濤

技術領域

本發(fā)明涉及一種高純氨槽車處理系統(tǒng)及其使用方法，屬于高純氨槽車處理技術領域。

背景技術

電子級高純氨廣泛用于半導體照明、平板顯示、太陽能電池以及大規(guī)模集成電路制造等領域中，而隨著半導體照明、平板顯示、太陽能電池以及大規(guī)模集成電路制造等領域的發(fā)展，高純氨的需求量逐漸增加，對高純氨的純度要求逐漸提升，高純氨包裝容器逐漸由原來的鋼瓶逐漸轉換為槽車。經實踐表明，槽車使用后的剩余量為10％左右且在反復使用后會存在液體水分積累的現象，為了保證產品純度，包裝容器的處理工藝顯得尤為重要。

發(fā)明內容

對此，本發(fā)明旨在提供一種槽車處理效率高且能減少高純氨產品損耗的高純氨槽車處理系統(tǒng)及其使用方法。

實現本發(fā)明目的的技術方案是：

一種高純氨槽車處理系統(tǒng)，包括產品緩沖罐、產品緩沖罐加熱系統(tǒng)和充裝站，所述產品緩沖罐的液相接口連接生產線采出端，所述產品緩沖罐的氣相接口經所述充裝站與槽車的氣相接口連接，所述產品緩沖罐加熱系統(tǒng)為產品緩沖罐加熱加壓，槽車液相接口經充裝站與鋼瓶的液相接口連接，鋼瓶的氣相接口經充裝站連接至氣體處理區(qū)，所述充裝站上還連接有分析管線。

上述技術方案中，所述產品緩沖罐加熱系統(tǒng)為加熱水循環(huán)管路系統(tǒng)或電加熱系統(tǒng)。

一種上述高純氨槽車處理系統(tǒng)的使用方法，包括以下步驟：

S1：高純氨充入產品緩沖罐一定液位后停止進料，通過產品緩沖罐加熱系統(tǒng)對產品緩沖罐加熱加壓；

S2：連接槽車及鋼瓶的氣、液相接口至充裝站，通過充裝站對槽車氣相管線、槽車液相管線、鋼瓶氣相管線、鋼瓶液相管線進行吹掃、保壓、抽真空；

S3：打開槽車氣相管線與產品緩沖罐的氣相管線讓槽車與產品緩沖罐的氣相連通，提高槽車內部壓力；

S4：打開槽車液相管線至鋼瓶液相管線的相關閥門讓槽車與鋼瓶的液相連通，利用槽車與鋼瓶內部壓差將槽車內的高純氨壓至鋼瓶內；

S5：待槽車內高純氨排空后，關閉槽車液相管線、鋼瓶液相管線，然后通過產品緩沖罐內的高壓氣體給槽車充壓后，將槽車氣相閥關閉，打開槽車液相管線及氣體處理管線相關閥門將槽車和氣體處理區(qū)連通使槽車內部壓力降低至0bar，重復上述操作至少兩遍；

S6：將槽車氣相管線、槽車液相管線及氣體處理管線均打開，通過產品緩沖罐高壓氣體對槽車持續(xù)吹掃5至12min后，關閉槽車液相閥，待槽車內達到一定壓力時，關閉槽車氣相閥；

S7：打開分析管線進入槽車純度分析流程，分析純度合格后進入槽車充裝程序。

上述技術方案中，在步驟S5中，通過產品緩沖罐高壓氣體對槽車持續(xù)吹掃10min后，關閉槽車液相閥，待槽車內壓力為5bar時，關閉槽車氣相閥。

本發(fā)明具有積極的效果：采用本發(fā)明中的槽車處理系統(tǒng)處理槽車，能有效提高槽車處理效率，并且處理徹底，同時能夠將槽車內的高純氨裝入鋼瓶內回收利用，避免造成高純氨浪費，具有很好的使用效果。

附圖說明

圖1為本發(fā)明中高純氨槽車處理系統(tǒng)的結構示意圖。

圖中所示附圖標記為：1-產品緩沖罐；2-產品緩沖罐加熱系統(tǒng)；3-充裝站；4-槽車；41-槽車氣相管線；42-槽車液相管線；5-鋼瓶；51-鋼瓶氣相管線；52-鋼瓶液相管線；6-氣體處理管線；7-分析管線。

具體實施方式

下面結合說明書附圖對本發(fā)明中的技術方案做以說明：

實施例1

一種高純氨槽車4處理系統(tǒng)，如圖1所示，其包括產品緩沖罐1、產品緩沖罐加熱系統(tǒng)2和充裝站3，所述產品緩沖罐1的液相接口連接生產線采出端，所述產品緩沖罐1的氣相接口經所述充裝站3與槽車4的氣相接口連接，所述產品緩沖罐加熱系統(tǒng)2為產品緩沖罐1加熱加壓，槽車4的液相接口經充裝站3與鋼瓶5的液相接口連接，鋼瓶5的氣相接口還經充裝站3連接至氣體處理區(qū)，所述充裝站3上還連接有分析管線7。采用本發(fā)明中的槽車處理系統(tǒng)處理槽車，能有效提高槽車處理效率，并且處理徹底，同時能夠將槽車內的高純氨裝入鋼瓶內回收利用，避免造成高純氨損耗，具有很好的使用效果，使用方法見實施例2，設置分析管線7用于對槽車及鋼瓶純度進行分析。

本實施例中，所述產品緩沖罐加熱系統(tǒng)2可以采用加熱水(或其它熱媒)循環(huán)管路系統(tǒng)，實踐操作中所述產品緩沖罐加熱系統(tǒng)2也可以采用電加熱系統(tǒng)。

實施例2

一種實施例1中高純氨槽車處理系統(tǒng)的使用方法，包括以下步驟：