[發明專利]薄膜厚度測量單元及包括其的薄膜沉積裝置有效
| 申請號： | 201610247838.X | 申請日： | 2016-04-20 |
| 公開（公告）號： | CN106560525B | 公開（公告）日： | 2020-08-28 |
| 發明（設計）人： | 薛在完 | 申請（專利權）人： | 三星顯示有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24;C23C14/54;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204 | 代理人： | 王達佐;劉錚 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 薄膜 厚度 測量 單元 包括 沉積 裝置 | ||
【權利要求書】：
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