[發明專利]電子和離子的等離子體源

有效

• 申請號: 201610247327.8
• 申請日: 2016-04-20
• 公開（公告）號: CN105762053B
• 公開（公告）日: 2018-08-14
• 發明（設計）人: 于寶海;謝廣亮
• 申請（專利權）人: 沈陽伊貝姆科技有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H05H1/24
• 代理公司: 沈陽晨創科技專利代理有限責任公司 21001
• 代理人: 張晨

1.電子和離子的等離子體源，其特征在于，包括：空心陰極(1)、空心陰極法蘭(2)、陶瓷絕緣子Ⅰ(3)、筒形陽極(4)、陶瓷絕緣子Ⅱ(5)、發射體陰極法蘭(6)、陶瓷絕緣子Ⅲ(7)、主法蘭(8)、等離子體源外殼(9)、加速電極法蘭(10)、加速電極(11)、發射體陰極(12)、發射體陰極固定器(13)、永磁體(14)、永磁體固定器(15)；

所述等離子體源外殼(9)上端安裝主法蘭(8)，所述等離子體源外殼(9)下端安裝加速電極法蘭(10)，所述加速電極(11)設于加速電極法蘭(10)上，所述空心陰極(1)、筒形陽極(4)和發射體陰極(12)設于等離子體源外殼(9)內部并自上而下排列，所述空心陰極(1)與空心陰極法蘭(2)連接，所述空心陰極法蘭(2)通過陶瓷絕緣子Ⅰ(3)與筒形陽極(4)連接，所述筒形陽極(4)通過陶瓷絕緣子Ⅱ(5)與發射體陰極法蘭(6)連接，所述發射體陰極法蘭(6)通過陶瓷絕緣子Ⅲ(7)與主法蘭(8)連接，所述發射體陰極(12)通過發射體陰極固定器(13)壓緊在發射體陰極法蘭(6)上，所述永磁體(14)通過永磁體固定器(15)壓緊在筒形陽極(4)上；所述空心陰極(1)和筒形陽極(4)之間的距離為0.9-1.5mm；所述空心陰極(1)下邊緣和筒形陽極(4)下邊緣之間的距離為5-15mm；所述筒形陽極(4)和發射體陰極(12)之間的距離為0.9-1.5mm；所述發射體陰極(12)和加速電極(11)之間的距離為6-12mm；

所述空心陰極(1)包括由鐵氧體磁性鋼制成的空心陰極外殼(101)、難熔金屬制成的小管(102)、等離子體生成室(103)、工作氣體供給管道(104)和等離子體衰減室(105)，所述難熔金屬制成的小管(102)設于由鐵氧體磁性鋼制成的空心陰極外殼(101)內部，所述難熔金屬制成的小管(102)內部形成等離子體生成室(103)，所述等離子體衰減室(105)設于由鐵氧體磁性鋼制成的空心陰極外殼(101)上部，所述等離子體生成室(103)與等離子體衰減室(105)之間設有工作氣體供給管道(104)；所述由鐵氧體磁性鋼制成的空心陰極外殼(101)的工作區域的直徑為11-14mm，長度為12-14mm，下邊磨圓R＝1mm；所述等離子體生成室(103)為圓柱形，直徑為3-5mm，長度為40-60mm；

所述發射體陰極(12)包括由鐵氧體磁性鋼制成的發射體陰極外殼(121)和設于由鐵氧體磁性鋼制成的發射體陰極外殼(121)內部的難熔金屬制成的嵌塊(122)，所述難熔金屬制成的嵌塊(122)內部上端開設有錐形凹槽(122a)，其下端設有與錐形凹槽(122a)連通的發射孔(122b)；所述錐形凹槽(122a)的角度為90-120°，發射孔(122b)的直徑為1.3-2mm，發射孔(122b)的發射通道長度為0.5-1.5mm。

2.按照權利要求1所述的電子和離子的等離子體源，其特征在于，所述難熔金屬制成的小管(102)具體為鎢、鉬或鉭制成的小管。

3.按照權利要求1所述的電子和離子的等離子體源，其特征在于，所述難熔金屬制成的嵌塊(122)具體為鎢、鉬或鉭制成的嵌塊。