[發明專利]微流體裝置的制造方法、微流體裝置及微流體裝置制造用感光性樹脂組合物在審
| 申請號： | 201610246881.4 | 申請日： | 2016-04-20 |
| 公開（公告）號： | CN106066575A | 公開（公告）日： | 2016-11-02 |
| 發明（設計）人： | 西村功;星子賢二;金子將寛 | 申請（專利權）人： | JSR株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/00 | 分類號： | G03F7/00;G03F7/027;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205 | 代理人： | 彭雪瑞;臧建明 |
| 地址： | 日本東京港*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 流體 裝置 制造 方法 感光性 樹脂 組合 | ||
【權利要求書】：
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