[發明專利]掩膜板組件及制作方法、蒸鍍裝置、顯示基板的制作方法在審
| 申請號： | 201610245209.3 | 申請日： | 2016-04-19 |
| 公開（公告）號： | CN105861985A | 公開（公告）日： | 2016-08-17 |
| 發明（設計）人： | 畢文濤 | 申請（專利權）人： | 京東方科技集團股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/04 | 分類號： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243 | 代理人： | 黃燦;張博 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 掩膜板 組件 制作方法 裝置 顯示 | ||
【說明書】：
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