[發明專利]一種正負調幅脈沖驅動靜電探針及數據采集分析一體裝置

有效

• 申請號: 201610241321.X
• 申請日: 2016-04-19
• 公開（公告）號: CN105704900B
• 公開（公告）日: 2018-10-16
• 發明（設計）人: 陳兆權;丘漢標;宋曉
• 申請（專利權）人: 陳兆權;丘漢標
• 主分類號: H05H1/00
• 分類號: H05H1/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種正負調幅脈沖驅動靜電探針及數據采集分析一體裝置，由正負調幅脈沖發生器（1），方波脈沖信號（2），驅動電路（3），探針偏置信號（4），Langmuir探針（5），同步脈沖信號（6），DSP數據處理系統（7），電流采集信號（8），電流信號讀?。?），電流信號（10），電流信號采集系統（11），上位機系統（12）構成，其特征是：正負調幅脈沖發生器（1）產生兩路信號輸出，一路輸出方波脈沖信號（2），經過驅動電路（3）放大后為Langmuir探針（5）提供探針偏置信號（4），另一路輸出同步脈沖信號（6），且同步脈沖信號（6）為上位機系統（12）提供電流采集點（15）和電流采集延時（16）；裝置運行時，電流信號采集系統（11）在每個同步脈沖信號（6）階梯上的電流采集點（15）對Langmuir探針（5）進行電流信號采集，在零點電位（14）上停止采集，從而使Langmuir探針（5）自然冷卻，避免了探針自加熱效應。

2.根據權利要求1所述的一種正負調幅脈沖驅動靜電探針及數據采集分析一體裝置，其特征是在電流信號采集系統（11）對Langmuir探針（5）進行電流信號采集過程中采用軟開關技術和大范圍電流測量手段，從而避免離子電流微納量采集的精度缺陷。

3.根據權利要求1所述的一種正負調幅脈沖驅動靜電探針及數據采集分析一體裝置，其特征是DSP數據處理系統（7）實時對同步脈沖信號（6）與電流信號（10）進行處理計算得到Langmuir探針（5）的V-I特性曲線，且根據實際需要依此推導計算出電子溫度、能量分布、電子密度和空間電位等參數，并在上位機系統（12）上實時顯示。