[發明專利]基于壓電陶瓷驅動的透射電子顯微鏡雙軸傾轉原位力學樣品桿

有效

• 申請號: 201610237986.3
• 申請日: 2016-04-17
• 公開（公告）號: CN105758711B
• 公開（公告）日: 2018-04-06
• 發明（設計）人: 韓曉東;張劍飛;毛圣成;翟亞迪;王曉冬;李志鵬;張韜楠;馬東鋒;栗曉辰;張澤
• 申請（專利權）人: 北京工業大學
• 主分類號: G01N3/02
• 分類號: G01N3/02
• 代理公司: 北京思海天達知識產權代理有限公司11203
• 代理人: 劉萍

1.基于壓電陶瓷驅動的透射電子顯微鏡雙軸傾轉原位力學樣品桿，其特征在于包括樣品桿桿身主體和壓電陶瓷驅動系統；樣品桿桿身主體部分包括樣品桿桿身、桿身前端、傾轉臺、樣品桿后端、直線步進電機、驅動桿、驅動連桿；壓電陶瓷驅動系統部分由壓電陶瓷載臺、壓電陶瓷、連接座及實現拉伸或壓縮功能的樣品載臺組成；

樣品桿后端、樣品桿桿身和桿身前端固定在一起；直線步進電機通過密封螺釘固定在樣品桿后端上；樣品桿桿身的中心開有通孔放置驅動桿，驅動桿后端與直線步進電機螺紋連接；桿身前端與傾轉臺通過傾轉軸固定，傾轉軸穿過傾轉臺兩側的兩個傾轉軸孔，并與傾轉軸孔固定；

傾轉臺整體為左右對稱結構，為U型結構和凸臺的組合，凸臺為左右對稱結構，包括水平部分和與水平部分成θ角的傾斜部分，θ角為30-45度；在傾斜部分末端設有旋轉軸軸孔；凸臺水平部分一端開有凸臺卡槽，且中間開有便于電子束透過的通孔；凸臺的水平部分嵌在U形結構之間，連桿一端為驅動桿固定軸，另一端為旋轉軸，通過旋轉軸和連桿讓凸臺水平部分的中間開有的卡槽和驅動桿卡槽相連接；樣品桿桿身前端兩側位置設計對稱的兩個貫通的運動導槽，運動導槽內設有驅動桿固定軸來固定驅動桿，約束驅動桿在直線步進電機驅動下，進行前后往復式直線運動，進而使傾轉臺繞傾轉軸旋轉；

壓電陶瓷載臺前端留有過孔，同時傾轉臺前端有螺孔，壓電陶瓷載臺和傾轉臺上下固定在一起，壓電陶瓷與壓電陶瓷載臺固定；連接座一端連接在壓電陶瓷一端，連接座的另一端與樣品載臺相連。

2.根據權利要求1所述的基于壓電陶瓷驅動的透射電子顯微鏡雙軸傾轉原位力學樣品桿，其特征在于：樣品載臺是使用體硅刻蝕技術一體化成型。