[發明專利]一種高性能鍵合合金絲及其制備方法與應用

有效

• 申請號: 201610236204.4
• 申請日: 2016-04-15
• 公開（公告）號: CN105803245B
• 公開（公告）日: 2017-10-20
• 發明（設計）人: 薛子夜;趙義東;吳正浩
• 申請（專利權）人: 浙江佳博科技股份有限公司
• 主分類號: C22C5/02
• 分類號: C22C5/02;C22F1/14;H01L23/49;H01L21/48;H01L33/62
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司11250
• 代理人: 張建綱

1.一種高性能鍵合合金絲，其特征在于，以所述鍵合合金絲的總重量計，包括以下重量百分含量的組分：

金70～85％、銀10～25％、鈀3～6％、鈣0.02～0.08％、鐵0.05～0.1％、鉭0.05～0.1％、鈮0.03～0.08％、錸0.02～0.06％。

2.根據權利要求1所述的鍵合合金絲，其特征在于，包括如下組分：

金75～80％、銀17～20％、鈀3～5％、鈣0.02～0.05％、鐵0.07～0.1％、鉭0.05～0.1％、鈮0.05～0.08％、錸0.02～0.05％。

3.根據權利要求1所述的鍵合合金絲，其特征在于，包括如下組分：

金70～75％、銀20～25％、鈀3～5％、鈣0.05～0.06％、鐵0.07～0.08％、鉭0.06～0.1％、鈮0.07～0.1％、錸0.04～0.05％。

4.根據權利要求1-3任一項所述的鍵合合金絲，其特征在于，所述金的純度不小于99.999wt％；所述銀的純度不小于99.99wt％；所述鈀的純度不小于99.99wt％。

5.一種制備權利要求1-4任一項所述的鍵合合金絲的方法，其特征在于，包括如下步驟：

(1)將上述各組分混合后進行真空熔煉，并制成合金棒材；

(2)對所述合金棒材進行拉絲加工，形成預定線徑的合金線材；

(3)對所述合金線材進行退火處理，即制得所述鍵合合金絲。

6.根據權利要求5所述的制備鍵合合金絲的方法，其特征在于，所述真空熔煉的溫度為1100～1200℃、真空度為10^-2～10^-4Pa。

7.根據權利要求5所述的制備鍵合合金絲的方法，其特征在于，所述退火的溫度為500-700℃，退火速度為50-65m/min。

8.根據權利要求5-7任一項所述的制備鍵合合金絲的方法，其特征在于，還包括在所述退火處理之后依次設置的繞線工藝和封裝工藝。

9.根據權利要求5所述的制備鍵合合金絲的方法，其特征在于，在所述退火處理的過程中還包括性能測試環節。

10.權利要求1-4任一項所述的鍵合合金絲在分立器件和集成電路封裝技術中的應用。