[發明專利]元件、曝光裝置、及制造方法有效
| 申請號： | 201610235948.4 | 申請日： | 2016-04-15 |
| 公開（公告）號： | CN106098516B | 公開（公告）日： | 2018-09-07 |
| 發明（設計）人： | 山田章夫;菅谷慎二;黑川正樹;瀧澤昌弘;巖下龍馬 | 申請（專利權）人： | 英特爾公司 |
| 主分類號： | H01J37/04 | 分類號： | H01J37/04;H01J37/147;H01J37/317 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人： | 王英 |
| 地址： | 美國加*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 搜索關鍵詞： | 元件 曝光 裝置 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
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