[發明專利]一種錳硅納米線紅外探測器及其制作方法在審
| 申請號: | 201610235400.X | 申請日: | 2016-04-14 |
| 公開(公告)號: | CN105841823A | 公開(公告)日: | 2016-08-10 |
| 發明(設計)人: | 董友強 | 申請(專利權)人: | 董友強 |
| 主分類號: | G01J5/20 | 分類號: | G01J5/20;G01J3/28;G01J1/42;H01L31/0352;H01L31/107;H01L31/108;H01L31/18 |
| 代理公司: | 深圳市精英專利事務所 44242 | 代理人: | 馮筠 |
| 地址: | 528100 廣東省佛山*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 納米 紅外探測器 及其 制作方法 | ||
【權利要求書】:
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