[發明專利]陣列基板及其制造方法、顯示面板和顯示裝置

在審

• 申請號: 201610232470.X
• 申請日: 2016-04-14
• 公開（公告）號: CN105676553A
• 公開（公告）日: 2016-06-15
• 發明（設計）人: 高吉磊;劉金良;陳沫;羅鴻強;劉祖文
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司
• 主分類號: G02F1/1362
• 分類號: G02F1/1362;G02F1/1333
• 代理公司: 北京三高永信知識產權代理有限責任公司 11138
• 代理人: 鞠永善

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，特別涉及一種陣列基板及其制造方法、顯示面 板和顯示裝置。

背景技術

隨著顯示技術的發展，越來越多的薄膜晶體管液晶顯示器(英文：Thin-film transistorliquidcrystaldisplay；簡稱：TFT-LCD)融入人們的日常生活中。TFT-LCD 面板通常包括陣列基板、彩膜基板以及陣列基板和彩膜基板之間的液晶層，陣 列基板作為TFT-LCD的重要組成部分，對TFT-LCD產品性能的影響較大。

現有技術中有一種陣列基板，該陣列基板包括襯底基板，襯底基板上形成 有柵極金屬圖形和柵線，形成有柵線的襯底基板上形成有柵極絕緣層，形成有 柵極絕緣層的襯底基板上形成有源層圖形、數據線、源漏極金屬圖形和氧化物 溝道圖形，形成有數據線的襯底基板上形成有鈍化層，該鈍化層覆蓋柵線和數 據線。

在陣列基板的制造過程中，常常需要對陣列基板進行測試，如測試某一段 的數據線或柵線的電阻值是否滿足要求，由于鈍化層覆蓋柵線和數據線，想要 對數據線或柵線進行測試，需要先拆解陣列基板上的襯底基板露出鈍化層下方 的柵線或數據線，以進行相應的測試，而陣列基板的襯底基板比較薄，在拆解 陣列基板時，陣列基板極易損壞，最終導致陣列基板的測試無法正常進行，因 此，產品的良率較低。

發明內容

為了解決現有技術中陣列基板的測試無法正常進行而導致的產品的良率較 低的問題，本發明提供了一種陣列基板及其制造方法、顯示面板和顯示裝置。 所述技術方案如下：

第一方面，提供了一種陣列基板，所述陣列基板包括：

襯底基板；

所述襯底基板上形成有柵極金屬圖形和柵線；

形成有所述柵線的襯底基板上形成有柵極絕緣層；

形成有所述柵極絕緣層的襯底基板上形成有數據線和源漏極金屬圖形，所 述源漏極金屬圖形包括源極和漏極；

形成有所述源漏極金屬圖形的襯底基板上形成有鈍化層，其中，所述柵極 絕緣層上形成有第一過孔組，所述第一過孔組位于所述柵線上方，所述鈍化層 上形成有第二過孔組、第三過孔組和第四過孔組，所述第二過孔組位于所述漏 極上方，所述第三過孔組位于所述柵線上方，所述第三過孔組與所述第一過孔 組連通，所述第四過孔組位于所述數據線上方；

形成有所述鈍化層的襯底基板上形成有像素電極圖形、第一測試電極圖形 和第二測試電極圖形，所述像素電極圖形通過所述第二過孔組與所述漏極連接， 所述第一測試電極圖形通過所述第三過孔組、所述第一過孔組與所述柵線連接， 所述第二測試電極圖形通過所述第四過孔組與所述數據線連接。

可選的，形成有所述柵極絕緣層的襯底基板上形成有有源層圖形、氧化物 溝道圖形、所述數據線和所述源漏極金屬圖形。

可選的，所述像素電極圖形由透明導電材料制作而成，所述第一測試電極 圖形、所述第二測試電極圖形與所述像素電極圖形材料相同。

可選的，第一至第四過孔組中的任一過孔的橫截面為圓形或方形。

第二方面，提供了一種陣列基板的制造方法，所述方法包括：

在襯底基板上依次形成柵極金屬圖形和柵線；

在形成有所述柵線的襯底基板上形成柵極絕緣層；

在形成有所述柵極絕緣層的襯底基板上依次形成數據線和源漏極金屬圖 形，所述源漏極金屬圖形包括源極和漏極；

在形成有所述源漏極金屬圖形的襯底基板上形成鈍化層，其中，所述柵極 絕緣層上形成有第一過孔組，所述第一過孔組位于所述柵線上方，所述鈍化層 形成有第二過孔組、第三過孔組和第四過孔組，所述第二過孔組位于所述漏極 上方，所述第三過孔組位于所述柵線上方，所述第三過孔組與所述第一過孔組 連通，所述第四過孔組位于所述數據線上方；

在形成有所述鈍化層的襯底基板上依次形成像素電極圖形、第一測試電極 圖形和第二測試電極圖形，所述像素電極圖形通過所述第二過孔組與所述漏極 連接，所述第一測試電極圖形通過所述第三過孔組、所述第一過孔組與所述柵 線連接，所述第二測試電極圖形通過所述第四過孔組與所述數據線連接。

可選的，所述在形成有所述源漏極金屬圖形的襯底基板上形成鈍化層之后， 所述方法還包括：