[發明專利]低溫吸附材料分析表征系統有效
| 申請號: | 201610231896.3 | 申請日: | 2016-04-13 |
| 公開(公告)號: | CN105738400B | 公開(公告)日: | 2018-12-04 |
| 發明(設計)人: | 董相文;何超峰;丁先庚;郁歡強;卞榮耀;李陽;張俊峰;武義鋒;章學華 | 申請(專利權)人: | 安徽萬瑞冷電科技有限公司 |
| 主分類號: | G01N25/00 | 分類號: | G01N25/00 |
| 代理公司: | 北京酷愛智慧知識產權代理有限公司 11514 | 代理人: | 馬麗娜 |
| 地址: | 230088 安*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 低溫 吸附 材料 分析 表征 系統 | ||
1.一種低溫吸附材料分析表征系統,其特征在于:包括真空腔(11)、制冷機(20),所述制冷機(20)的冷頭位于真空腔(11)內,樣品腔(13)可放置于容納腔(12)中或從容納腔(12)中取出,
該低溫吸附材料分析表征系統還包括外筒體(31)和內筒體(32);所述外筒體(31)的兩端分別設置有第一、二蓋板(33、34),第一蓋板(33)上設置有通孔供制冷機(20)的冷頭插入,第二蓋板(34)上設置有通孔供內筒體(32)插入;內筒體(32)位于外筒體(31)內的一端封閉并與制冷機(20)的冷頭固定連接,內筒體(32)的另一端固定在第二蓋板(34)上;內、外筒體(31、32)以及第一、二蓋板(33、34)圍合而成的腔室構成真空腔(11),內筒體(32)的內腔構成所述的容納腔(12),
該低溫吸附材料分析表征系統還包括第一氣管(41),所述的內、外筒體(32、31)以及第一氣管(41)呈鉛垂方向布置且第二蓋板(34)位于上側,第一氣管(41)位于內筒體(32)內的一端固定連接樣品盒(37),第一氣管(41)的另一端延伸至內筒體(32)外側,待吸附氣體的氣源通過第一氣管(41)連通樣品腔(13),延伸至內筒體(32)外側的第一氣管(41)的管壁上固定設置有第三蓋板(35),第三蓋板(35)用于封閉容納腔(12),第一氣管(41)和內筒體(32)之間填充有隔熱材料,
所述的樣品腔(13)和容納腔(12)之間設置有冷卻介質且冷卻介質為氦氣,第二蓋板(34)上部設置有圓管(36),圓管(36)的上下兩端均設置有法蘭分別與第三蓋板(35)、第二蓋板(34)相連,圓管(36)的管壁上設置有第二氣管(42),氦氣氣源通過第二氣管(42)與圓管(36)的管腔連通。
2.如權利要求1所述的低溫吸附材料分析表征系統,其特征在于:所述的樣品盒(37)位于內筒體(32)的下部,內筒體(32)的上部設置有G10填充棒(38),G10填充棒(38)通過間隙配合的方式安裝在內筒體(32)中,G10填充棒(38)沿長度方向開設有通孔供第一氣管(41)通過,G10填充棒(38)的外周壁上開設有螺旋狀的凹槽(381),圓管(36)管腔中的氦氣通過凹槽(381)進入到內筒體(32)下部設置有樣品盒(37)的腔室中。
3.如權利要求2所述的低溫吸附材料分析表征系統,其特征在于:所述的內筒體(32)分為上段管體(321)和下段管體(322),上段管體(321)為不銹鋼材料制成,下段管體(322)為無氧銅材料制成,上段管體(321)和下段管體(322)采用真空釬焊的方式形成密封連接;G10填充棒(38)位于上段管體(321)中,樣品盒(37)位于下段管體(322)中。
4.如權利要求3所述的低溫吸附材料分析表征系統,其特征在于:所述的制冷機(20)包括一級冷頭(21)和二級冷頭(22),內筒體(32)與二級冷頭(22)固定連接;二級冷頭(22)和內筒體(32)的下段管體(322)外側套設有防輻射屏(39),防輻射屏(39)的一端固定在一級冷頭(21)上,其另一端固定在內筒體(32)的上段管體(321)上。
5.如權利要求4所述的低溫吸附材料分析表征系統,其特征在于:包括底座(50)和真空管道(43),所述的外筒體(31)和制冷機(20)均固定安裝在底座(50)上,真空管道(43)固定安裝在底座(50)的蓋板上,真空泵通過真空管道(43)連通真空腔(11)。
6.如權利要求5所述的低溫吸附材料分析表征系統,其特征在于:所述外筒體(31)的上端設置有法蘭(311),外筒體(31)通過法蘭(311)與第二蓋板(34)固定連接且法蘭(311)和第二蓋板(34)之間設置有密封圈;第二蓋板(34)和內筒體(32)之間設置有密封圈;外筒體(31)的下端設置有圓環形法蘭構成所述的第一蓋板(33),內筒體(31)、外筒體(32)、第二蓋板(34)以及底座蓋板上表面圍合而成的腔室構成所述的真空腔(11),圓環形法蘭與底座(50)的蓋板上表面通過O型密封圈密封。
7.如權利要求5所述的低溫吸附材料分析表征系統,其特征在于:所述的內筒體(32)靠近二級冷頭(22)的外周壁上設置有加熱單元(62),樣品腔(13)、容納腔(12)中以及下段管體(322)上均設置有溫度傳感器(63)用于采集相應腔室內的溫度,真空管道(43)上設置有真空計用于采集真空腔(11)內的真空度。
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