[發明專利]旋轉靶材表面厚度、平面度的檢測方法及檢測系統

在審

• 申請號: 201610231826.8
• 申請日: 2016-04-12
• 公開（公告）號: CN105651192A
• 公開（公告）日: 2016-06-08
• 發明（設計）人: 江永釗;沈艷斌
• 申請（專利權）人: 廣州市尤特新材料有限公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06;G01B11/30
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;黃華蓮

1.一種旋轉靶材表面厚度的檢測方法，其特征在于，包括以下 步驟：

(1)、噴涂前，獲取測距模塊與旋轉靶材的軸線之間的距離為L， 并測量回轉體的半徑r；

(2)、噴涂時，回轉體旋轉，使測距模塊跟隨噴槍沿回轉體的軸向 同步移動，并通過測距模塊實時檢測回轉體的靶材涂層的外表面某一 點與測距模塊之間的距離l；

(3)、根據步驟(1)及步驟(2)檢測的數據，計算出回轉體表面的靶 材涂層的實際厚度為：h＝L-r-l。

2.根據權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，在步驟(2)中， 測距模塊的檢測點與噴槍的噴涂點之間的距離為所述回轉體每旋轉 一周噴槍移動的距離的整數倍。

3.根據權利要求1或2所述的檢測方法，其特征在于，所述噴 槍的兩側沿噴槍的移動方向設有多個測距模塊。

4.一種旋轉靶材表面平面度的檢測方法，其特征在于，包括以 下步驟：

(1)、噴涂前，獲取測距模塊與回轉體的軸線之間的距離L，并測 量回轉體的半徑r，

設定噴槍每個周期噴涂靶材材料的沉積厚度Δh和噴槍噴涂的周 期n，計算出回轉體表面噴涂涂層的理論厚度為：Hn＝Δh*n；

(2)、噴涂時，回轉體旋轉，使測距模塊跟隨噴槍沿回轉體的軸向 同步移動，并使測距模塊實時檢測涂層表面某一點與測距模塊之間的 距離l；

(3)、根據步驟(1)及步驟(2)檢測的數據，計算出回轉體表面噴涂 涂層的實際厚度為：h＝L-r-l；

(4)、根據回轉體表面的靶材涂層的實際厚度h和理論厚度Hn， 計算旋轉靶材的表面平面度誤差ΔH＝∣Hn-h∣，若h﹤Hn，則該被檢測點 處有凸起；若h﹥Hn，則該被檢測點處有凹坑；若h＝Hn則該被檢測點 符合理論值要求。

5.根據權利要求4所述的檢測方法，其特征在于，在步驟(2)中， 測距模塊的檢測點與噴槍的噴涂點之間的距離為所述回轉體每旋轉 一周噴槍移動的距離的整數倍。

6.根據權利要求4或5所述的檢測方法，其特征在于，所述噴 槍的兩側沿噴槍的移動方向設有多個測距模塊。

7.一種旋轉靶材表面厚度、平面度的檢測系統，包括驅動模塊、 數據處理模塊以及至少一個測距模塊，其中，

所述測距模塊位于所述回轉體的一側，所述測距模塊與所述回轉 體的軸線之間的距離為定值，

所述驅動模塊驅動所述測距模塊跟隨所述噴槍同步地沿所述回 轉體的軸向往復移動，

所述測距模塊實時檢測旋轉靶材外表面某一點與測距模塊之間 的距離并將檢測數據發送給所述數據處理模塊，

所述數據處理模塊根據接收的所述檢測數據，實時地計算出該被 檢測點處的旋轉靶材的厚度或平面度。

8.根據權利要求7所述的檢測系統，其特征在于，所述測距模 塊的檢測點與噴槍的噴涂點之間的距離為所述回轉體每旋轉一周噴 槍移動的距離的整數倍。

9.根據權利要求8所述的檢測系統，其特征在于，所述噴槍的 兩側沿噴槍的移動方向設有多個測距模塊。

10.根據權利要求7至9中任一項所述的檢測系統，其特征在于， 所述測距模塊為光學測距模塊，所述光學測距模塊的檢測點前設有濾 光片。