[發明專利]一種硅單晶生長摻雜劑濃度穩定控制方法有效
| 申請號： | 201610229174.4 | 申請日： | 2016-04-14 |
| 公開（公告）號： | CN105887187B | 公開（公告）日： | 2020-02-14 |
| 發明（設計）人： | 張俊寶;宋洪偉 | 申請（專利權）人： | 上海超硅半導體有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/20 | 分類號： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 201604 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 硅單晶 生長 摻雜 濃度 穩定 控制 技術 | ||
【權利要求書】：
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