[發明專利]一種蒸鍍罩和蒸鍍設備

有效

• 申請號: 201610228686.9
• 申請日: 2016-04-13
• 公開（公告）號: CN105755432B
• 公開（公告）日: 2019-04-09
• 發明（設計）人: 李曉虎;孫中元;王路;朱海彬
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 北京博思佳知識產權代理有限公司 11415
• 代理人: 林祥

本發明實施例提供了一種蒸鍍罩，其包括罩體，所述罩體上設有蒸鍍通道和與所述蒸鍍通道連通的用于回收蒸鍍材料的收集器，所述收集器與所述蒸鍍通道可拆卸連接；本發明實施例還提供了一種蒸鍍設備，包括裝有蒸鍍源材料的蒸鍍坩堝和上述所述的蒸鍍罩，所述蒸鍍罩設于所述蒸鍍坩堝的上方。本發明實施例的蒸鍍罩能夠回收被浪費掉的蒸鍍材料，從而提高蒸鍍材料的利用率。

技術領域

本發明實施例涉及蒸鍍技術領域，具體涉及一種蒸鍍罩和蒸鍍設備。

背景技術

在諸多蒸鍍工藝例如OLED(Organic Light-Emitting Diode，有機發光二極管又稱為有機電激光顯示)蒸鍍工藝過程中，OLED蒸鍍材料利用率較低，其中有一部分材料被浪費在了材料預熱和蒸鍍結束后材料降溫過程中，而這部分浪費的材料被凝結在了蒸鍍腔內的蒸鍍罩上，造成了OLED器件成本較高。

發明實施例內容

針對現有技術中的缺陷，本發明實施例提供一種蒸鍍罩和蒸鍍設備，能夠回收被浪費掉的蒸鍍材料，從而提高蒸鍍材料的利用率。

第一方面，本發明實施例提供一種蒸鍍罩，其包括罩體，所述罩體上設有蒸鍍通道和與所述蒸鍍通道連通的用于回收蒸鍍材料的收集器，所述收集器與所述蒸鍍通道可拆卸連接。

進一步地，所述罩體上設有至少一個螺紋孔，所述收集器與所述螺紋孔一一對應設置，所述收集器的開口處設有外螺紋，所述收集器與所述螺紋孔螺紋連接。

優選地，所述罩體上設有多個螺紋孔，多個所述螺紋孔均布在所述罩體上。

優選地，所述收集器為坩堝。

進一步地，所述罩體的正下方設有隔網。

進一步地，所述隔網與所述罩體通過連接件連接。

另外，所述罩體的周向連接有傳動桿，所述罩體通過所述傳動桿與外部驅動裝置相連。

第二方面，本發明實施例還提供一種蒸鍍設備，包括裝有蒸鍍源材料的蒸鍍坩堝和上述所述的蒸鍍罩，所述蒸鍍罩設于所述蒸鍍坩堝的上方。

由上述技術方案可知，本發明實施例基于對蒸鍍罩的結構改進，采用在蒸鍍罩的罩體上設有蒸鍍通道和與所述蒸鍍通道連通的用于回收蒸鍍材料的收集器，在材料預熱和蒸鍍結束后材料降溫過程中，蒸鍍材料通過蒸鍍通道被收集到收集器內，回收了現有技術下被浪費掉的蒸鍍材料，進而提高了蒸鍍材料的利用率，達到降低制造成本的目的。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作一簡單的介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本發明實施例的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本發明實施例一種蒸鍍設備的側視圖；

圖2是本發明實施例一種蒸鍍設備的俯視圖；

圖3是本發明實施例一種蒸鍍設備未安裝收集器的俯視圖。

圖1-3中：1：罩體；2：螺紋孔；3：收集器；4：隔網；5：傳動桿；6：蒸鍍坩堝。

具體實施方式

為使本發明實施例實施例的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將結合本發明實施例實施例中的附圖，對本發明實施例實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本發明實施例一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明實施例中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明實施例保護的范圍。