[發明專利]減少緣于有含銅合金部件處理室的銅污染的系統和方法有效
| 申請號： | 201610228014.8 | 申請日： | 2016-04-13 |
| 公開（公告）號： | CN106057623B | 公開（公告）日： | 2021-02-02 |
| 發明（設計）人： | 方浩全;丁易洪;張大衛 | 申請（專利權）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海勝康律師事務所 31263 | 代理人： | 樊英如;張靜 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 減少 緣于 銅合金 部件 處理 污染 系統 方法 | ||
【說明書】：
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