[發明專利]高純度旋轉靶材雜質控制方法在審
| 申請號： | 201610227524.3 | 申請日： | 2016-04-13 |
| 公開（公告）號： | CN105929862A | 公開（公告）日： | 2016-09-07 |
| 發明（設計）人： | 肖世文;黃顯鋒 | 申請（專利權）人： | 廣州市尤特新材料有限公司 |
| 主分類號： | G05D11/02 | 分類號： | G05D11/02 |
| 代理公司： | 廣州三環專利代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝傳鑫;黃華蓮 |
| 地址： | 510800 廣東省廣州*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 純度 旋轉 雜質 控制 方法 | ||
【說明書】：
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