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[發明專利]納米級規則褶皺結構的加工方法有效

專利信息
申請號: 201610224857.0 申請日: 2016-04-12
公開(公告)號: CN105905868B 公開(公告)日: 2018-04-20
發明(設計)人: 張海霞;程曉亮;繆立明;蘇宗明 申請(專利權)人: 北京大學
主分類號: B82B3/00 分類號: B82B3/00;B82Y40/00
代理公司: 北京市商泰律師事務所11255 代理人: 毛燕生
地址: 100871 北*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 納米 規則 褶皺 結構 加工 方法
【權利要求書】:

1.一種納米級規則褶皺結構的加工方法,其特征在于,包括:

選取并制備可拉伸基底材料;

使用夾具將所述可拉伸基底材料進行預拉伸,具體包括:在培養皿中涂覆一層所述可拉伸基底材料,對所述培養皿以80℃加熱30min使所述可拉伸基底材料固化;使用夾具將固化后的可拉伸基底材料進行預拉伸,拉伸比例為5%-200%,所述預拉伸為單軸拉伸或者多軸拉伸;

將預拉伸后的基底材料放入儀器腔內,利用氟基氣體的等離子體刻蝕在預拉伸的基底材料上生長氟碳聚合物材料,所述氟基氣體為氟基烷類氣體,所述等離子體 刻蝕通過能夠產生等離子體的設備實現,所述氟碳聚合物材料的厚度為1nm-1μm;

將生長了氟碳聚合物材料的基底材料釋放,得到納米級規則褶皺結構;

將所述納米級規則褶皺結構作為模具,將可拉伸基底基液按一定比例混合并去氣泡,將去氣泡后的基液涂覆于所述模具上,并加熱;所述基液涂覆厚度為10μm-5mm,所述加熱溫度為60℃-150℃,加熱時間為10min-200min,將所述模具與基液凝固形成的膜分離開來,得到所述納米級規則褶皺結構的相反結構。

2.根據權利要求1所述 的納米級規則褶皺結構的加工方法,其特征在于,所述基底材料為有一定彈性的硅膠材料,厚度為10μm-5mm。

3.根據權利要求1所述 的納米級規則褶皺結構的加工方法,其特征在于,所述生長了氟碳聚合物材料的基底材料的釋放時間為0.1s-10min。

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