[發明專利]產生脈沖等離子體的方法及其等離子體設備

在審

• 申請號: 201610223428.1
• 申請日: 2016-04-12
• 公開（公告）號: CN107295739A
• 公開（公告）日: 2017-10-24
• 發明（設計）人: 韋剛;成曉陽;衛晶;蘇恒毅
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46;H01J37/32
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司11112
• 代理人: 彭瑞欣,張天舒

1.一種產生脈沖等離子體的方法，通過脈沖電源向反應腔室輸出功率,以產生脈沖等離子體,其特征在于，所述方法包括以下步驟：

所述脈沖電源輸出第一脈沖信號，所述第一脈沖信號的功率為P₁，持續時間為T₁；

所述脈沖電源輸出第二脈沖信號，所述第二脈沖信號的功率為P₂，持續時間為T₂，其中，P₂≠P₁≠0。

2.根據權利要求1所述的產生脈沖等離子體的方法，其特征在于，所述脈沖電源的脈沖調整頻率f＝1/(T₁+T₂),其中，f為10Hz～20KHz。

3.根據權利要求1所述的產生脈沖等離子體的方法，其特征在于，所述第一脈沖信號的占空比D＝T₁/(T₁+T₂)，其中，D為5％～95％。

4.根據權利要求1所述的產生脈沖等離子體的方法，其特征在于，所述第一脈沖信號的功率P₁與所述第二脈沖信號的功率P₂的比為0.01～100。

5.一種等離子體設備，所述等離子體設備包括脈沖電源和反應腔室，其特征在于，所述等離子體設備采用如權利要求1-4任一項所述的產生脈沖等離子體的方法,通過所述脈沖電源向所述反應腔室輸出功率,以產生脈沖等離子體。

6.根據權利要求5所述的等離子體設備，其特征在于，所述等離子體設備為電感耦合等離子體設備，所述脈沖電源包括第一脈沖電源和第二射頻電源，所述電感耦合等離子體設備在所述反 應腔室頂壁上方設置有電感耦合線圈，所述電感耦合線圈通過第一阻抗匹配器與所述第一脈沖電源電連接。

7.根據權利要求6所述的等離子體設備，其特征在于，所述電感耦合等離子體設備在所述反應腔室底部設置有靜電卡盤，所述靜電卡盤通過第二阻抗匹配器與所述第二射頻電源電連接。

8.根據權利要求5所述的等離子體設備，其特征在于，所述等離子體設備為電容耦合等離子體設備，所述電容耦合等離子體設備在所述反應腔室內上方設置有上電極，所述上電極通過第一阻抗匹配器與所述脈沖電源電連接；在所述反應腔室底部設置有與所述上電極對應的下電極，所述下電極接地。

9.根據權利要求8所述的等離子體設備，其特征在于，所述上電極的頂部具有進氣孔，底部分布有多個出氣孔，所述上電極的內部具有勻氣空間，用以向所述反應腔室內通入反應氣體。