[發明專利]一種液相基底沉積金屬薄膜分離裝置

有效

• 申請號: 201610217374.8
• 申請日: 2016-04-07
• 公開（公告）號: CN105671510B
• 公開（公告）日: 2018-01-23
• 發明（設計）人: 喬憲武
• 申請（專利權）人: 中國計量大學
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/58
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種液相基底沉積金屬薄膜分離裝置，其特征在于：頂蓋(1)方便打開和密封開口，底座(7)密封圓桶(5)底部，帶孔隔板(4)固定在圓桶(5)中間位置，帶孔隔板(4)中間涂二甲基硅油(3)薄層，金屬薄膜(2)沉積在涂二甲基硅油(3)薄層上方，有機溶劑(6)存放于底座(7)和圓桶(5)形成的存儲空間，有機溶劑(6)液面低于帶孔隔板(4)位置； 二甲基硅油(3)薄層沉積和剝離過程在真空室中，操作通過機械手完成，本裝置可以倒轉，頂蓋(1)可以作為底座(7)使用。

2.根據權利要求1所述一種液相基底沉積金屬薄膜分離裝置，其特征在于：頂蓋(1)和底座(7)帶恒溫加熱裝置。

3.根據權利要求1所述一種液相基底沉積金屬薄膜分離裝置，其特征在于：帶孔隔板(4)開孔位置在邊緣，中心位置不開孔。