[發(fā)明專利]一種疊層式氣敏傳感器結(jié)構(gòu)及其制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610217304.2
• 申請(qǐng)日: 2016-04-08
• 公開（公告）號(hào): CN105758899B
• 公開（公告）日: 2019-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬駿;王毅;肖周;吳建昆;云付珍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 昆明貴研金峰科技有限公司
• 主分類號(hào): G01N27/14
• 分類號(hào): G01N27/14;G01N27/16
• 代理公司: 昆明今威專利商標(biāo)代理有限公司 53115
• 代理人: 賽曉剛

1.一種疊層式氣敏傳感器結(jié)構(gòu)，其特征在于：采用陶瓷基片作為疊層單元，由多片基片堆疊構(gòu)成，其上加工有孔，用于安裝傳感器敏感小球；基片間的孔互相連通，中間固定傳感器敏感小球，敏感小球通過(guò)引線固定到基片的電極引線上，再通過(guò)基片上的引出電極處引出引線，基片間通過(guò)粘結(jié)材料粘結(jié)在一起。

2.如權(quán)利要求如1所述的傳感器結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述基片上的引出電極具有兩個(gè)、三個(gè)、四個(gè)、五個(gè)或六個(gè)。

3.如權(quán)利要求如1所述的傳感器結(jié)構(gòu)，其特征在于：基片的電極引線和基片上的引出電極使用鉑、金、鈀、釕或銀漿料，或混合使用。

4.如權(quán)利要求如1所述的傳感器結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的基片上覆蓋有氧化鋁或玻璃體惰性材料，并作為基片間的粘結(jié)劑使用。

5.如權(quán)利要求如1所述的傳感器結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的傳感器結(jié)構(gòu)，其堆疊層數(shù)為二層到十二層。

6.如權(quán)利要求1所述的疊層式氣敏傳感器結(jié)構(gòu)應(yīng)用于多種氣體對(duì)象或氣體濃度+溫度的檢測(cè)。

7.一種疊層式氣敏傳感器結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征在于含有以下工藝步驟：采用陶瓷基片作為疊層單元，由多片基片堆疊構(gòu)成，其上加工有孔，用于安裝傳感器敏感小球；基片間的孔互相連通，中間固定傳感器敏感小球，敏感小球通過(guò)引線固定到基片的電極引線上，再通過(guò)基片上的引出電極處引出引線，基片間通過(guò)粘結(jié)材料粘結(jié)在一起，根據(jù)應(yīng)用要求改變基片的類型和組合方式，實(shí)現(xiàn)多功能的氣敏檢測(cè)。

8.如權(quán)利要求如7所述的一種疊層式氣敏傳感器結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征在于：所述基片上的引出電極具有兩個(gè)、三個(gè)、四個(gè)、五個(gè)或六個(gè)。

9.如權(quán)利要求如7所述的一種疊層式氣敏傳感器結(jié)構(gòu)的制造方法，基片的電極引線和基片上的引出電極使用鉑、金、鈀、釕或銀漿料，或混合使用。

10.如權(quán)利要求如7所述的一種疊層式氣敏傳感器結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征在于：所述的基片上覆蓋有氧化鋁或玻璃體惰性材料，并作為基片間的粘結(jié)劑使用。