[發(fā)明專利]一種分子泵及其控制方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610212880.8
• 申請(qǐng)日: 2016-04-07
• 公開（公告）號(hào): CN105673526B
• 公開（公告）日: 2018-09-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 沈超;邵克堅(jiān);劉東升;呂煜坤;朱駿;張旭升
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號(hào): F04D19/04
• 分類號(hào): F04D19/04;F04D27/00
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 智云

1.一種分子泵，其特征在于，所述分子泵，包括：

工藝參數(shù)輸入單元，用于輸入當(dāng)前制程之工藝參數(shù)要求；

設(shè)備控制分析系統(tǒng)，接受來(lái)自所述工藝參數(shù)輸入單元的輸入信息，并根據(jù)所述分子泵之抽氣效率特征曲線選擇分子泵之旋轉(zhuǎn)葉片的轉(zhuǎn)速，且生成相應(yīng)的轉(zhuǎn)速控制指令；

分子泵控制器，接受所述設(shè)備控制分析系統(tǒng)輸出的轉(zhuǎn)速控制指令，并依靠PID調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)輸入至葉片旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置的功率，進(jìn)而調(diào)整分子泵之旋轉(zhuǎn)葉片的轉(zhuǎn)速；

轉(zhuǎn)速反饋單元，實(shí)時(shí)反饋分子泵之旋轉(zhuǎn)葉片的轉(zhuǎn)速至所述設(shè)備控制分析系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)分子泵之抽氣效率與當(dāng)前制程之工藝要求相匹配。

2.如權(quán)利要求1所述的分子泵，其特征在于，所述葉片旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置為馬達(dá)。

3.如權(quán)利要求1所述的分子泵，其特征在于，所述當(dāng)前制程為氣相物理沉積、氣相化學(xué)沉積、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積的其中之一。

4.如權(quán)利要求1所述的分子泵，其特征在于，所述分子泵的抽氣真空度范圍為10^-3～10^-9Pa。

5.一種如權(quán)利要求1所述的分子泵之控制方法，其特征在于，所述分子泵之控制方法，包括：

執(zhí)行步驟S1：通過(guò)工藝參數(shù)輸入單元輸入當(dāng)前制程之工藝參數(shù)要求；

執(zhí)行步驟S2：所述設(shè)備控制分析系統(tǒng)接受來(lái)自所述工藝參數(shù)輸入單元的輸入信息，并根據(jù)所述分子泵之抽氣效率特征曲線選擇分子泵之旋轉(zhuǎn)葉片的轉(zhuǎn)速，且生成相應(yīng)的轉(zhuǎn)速控制指令；

執(zhí)行步驟S3：所述分子泵控制器接受所述設(shè)備控制分析系統(tǒng)輸出的轉(zhuǎn)速控制指令，并依靠PID調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)輸入至葉片旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置的功率，進(jìn)而調(diào)整分子泵之旋轉(zhuǎn)葉片的轉(zhuǎn)速；

執(zhí)行步驟S4：所述轉(zhuǎn)速反饋單元實(shí)時(shí)反饋分子泵之旋轉(zhuǎn)葉片的轉(zhuǎn)速至所述設(shè)備控制分析系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)分子泵之抽氣效率與當(dāng)前制程之工藝要求相匹配。

6.如權(quán)利要求5所述的分子泵之控制方法，其特征在于，所述轉(zhuǎn)速反饋單元實(shí)時(shí)反饋分子泵之旋轉(zhuǎn)葉片的轉(zhuǎn)速至所述設(shè)備控制分析系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)分子泵之抽氣效率與當(dāng)前制程之工藝要求相匹配，并藉由上級(jí)擺閥之開度調(diào)節(jié)，改善反應(yīng)腔室內(nèi)各處抽氣均勻性。

7.如權(quán)利要求5所述的分子泵之控制方法，其特征在于，所述當(dāng)前制程之工藝參數(shù)要求為氣體介質(zhì)成分、工藝壓力。

8.如權(quán)利要求7所述的分子泵之控制方法，其特征在于，所述工藝壓力范圍為10^-3～10^-9Pa。