[發明專利]高低溫低氣壓環境中的壓差傳感器的校準裝置及方法

有效

• 申請號: 201610212847.5
• 申請日: 2016-04-07
• 公開（公告）號: CN105651458B
• 公開（公告）日: 2019-03-19
• 發明（設計）人: 徐文寬;周江華;何小輝
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電研究院
• 主分類號: G01L27/00
• 分類號: G01L27/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 任巖

1.一種壓差傳感器的校準裝置，用于對壓差傳感器在高溫或低溫的低氣壓環境中輸出的電壓值進行校準，其特征在于，裝置包括：

環境試驗箱，用于在箱體內部產生高溫或低溫的低氣壓環境，并且，所述壓差傳感器置于所述環境試驗箱中；

壓差產生單元，包括在所述環境試驗箱中設置的密封箱，在密封箱和環境試驗箱之間產生氣壓差，用于在所述環境試驗箱內部產生的高溫或低溫的低氣壓環境中提供多個氣壓差，所述壓差傳感器根據所述多個氣壓差輸出多個電壓值；

壓差測量單元，用于測量所述多個氣壓差，得到多個壓差值；

校準單元，用于將所述多個電壓值與多個壓差值進行擬合，得到所述電壓值和壓差值的關系曲線，以實現對所述壓差傳感器的校準。

2.根據權利要求1所述的壓差傳感器的校準裝置，其特征在于，所述壓差產生單元還包括進氣閥，所述密封箱置于所述環境試驗箱內部，所述進氣閥置于所述環境試驗箱外部，所述進氣閥的一端與外界氣體連通，另一端與所述密封箱連通；

其中，所述進氣閥打開時，外部氣體能直接進入至所述密封箱中，以致所述密封箱與環境試驗箱之間具有氣壓差。

3.根據權利要求2所述的壓差傳感器的校準裝置，其特征在于，通過使不同量的使外部氣體進入所述密封箱，以使所述密封箱與環境試驗箱之間具有多個不同的氣壓差。

4.根據權利要求3所述的壓差傳感器的校準裝置，其特征在于，所述壓差產生單元還包括一電控閥門，其置于所述環境試驗箱中，所述電控閥門的一端與所述密封箱連通，另一端與所述環境試驗箱內部氣體連通，所述電控閥門打開時，所述密封箱與環境試驗箱連通，使得所述密封箱與環境試驗箱之間無氣壓差。

5.根據權利要求4所述的壓差傳感器的校準裝置，其特征在于，所述壓差產生單元還包括一電控閥控制器，用于控制所述電控閥的開閉，其中，所述電控閥控制器設于所述環境試驗箱的外部，并與所述電控閥電連接。

6.根據權利要求5所述的壓差傳感器的校準裝置，其特征在于，所述壓差傳感器的一端連通所述密封箱，另一端連通所述環境試驗箱內部氣體，以根據所述密封箱與環境試驗箱之間的氣壓差輸出電壓值；

所述壓差測量單元的一端連通所述密封箱，另一端連通所述環境試驗箱內部氣體，以根據所述密封箱與環境試驗箱之間的氣壓差得到壓差值。

7.根據權利要求6所述的壓差傳感器的校準裝置，其特征在于，還包括一傳感器采集設備，其設于所述環境試驗箱外部，并與所述環境試驗箱內部的壓差傳感器電連接，用于獲取所述壓差傳感器輸出的電壓值。

8.根據權利要求7所述的壓差傳感器的校準裝置，其特征在于，所述環境試驗箱的箱壁上設有第一法蘭和第二法蘭，其中，所述壓差測量單元和所述進氣閥通過所述第一法蘭接入至所述環境試驗箱中，所述電控閥控制器和所述傳感器采集設備通過第二法蘭接入至所述環境試驗箱中。

9.一種使用權利要求1所述的壓差傳感器的校準裝置的校準方法，用于對壓差傳感器在高溫或低溫的低氣壓環境中輸出的電壓值進行校準，其特征在于，方法包括：

S1，將所述壓差傳感器置于一環境試驗箱中，其中，所述環境試驗箱內部產生有高溫或低溫的低氣壓環境；

S2，在所述高溫或低溫的低氣壓環境中提供多個氣壓差，同時，獲取所述壓差傳感器根據所述多個氣壓差輸出的多個電壓值；

S3，測量所述多個氣壓差，得到多個壓差值；

S4，將所述多個電壓值與多個壓差值進行擬合，得到所述電壓值和壓差值的關系曲線，以實現對所述壓差傳感器的校準。