[發明專利]矩形波導微波與等離子體相互作用裝置

在審

• 申請號: 201610210808.1
• 申請日: 2016-04-07
• 公開（公告）號: CN107278011A
• 公開（公告）日: 2017-10-20
• 發明（設計）人: 林忠英;趙海龍;張巖;付光杰;林雨晴;彭煒淞
• 申請（專利權）人: 東北林業大學;林忠英
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種矩形波導微波與等離子體相互作用裝置，它包括微波源(1)，鐵氧體絕緣衰減器(2)，定向耦合器(3)，真空密封微波窗(4)，矩形波導管(5)，金屬網格(6)，飛行管(7)，等離子體發生器(8)，真空泵源(9)，多柵等離子體探針(10)，隔膜(11)，吸波負載(12)，多電極高壓等離子探針組(13)。多電極高壓等離子探針組(13)又包括：屏蔽等離子探針(14)，等離子內微波震蕩探針(15)，微波天線(16)。

微波源(1)通過鐵氧體絕緣衰減器(2)、定向耦合器(3)，在真空密封微波窗(4)處與矩形波導管(5)相連，用于產生微波，并將微波傳導至波導管作用區域。鐵氧體絕緣衰減器(2)設置于微波源(1)后，定向耦合器(3)前，用于調整輸出微波的頻率。矩形波導管(5)左側與微波發生裝置相連，右側為吸波負載(12)，從而控制微波沿波導管傳播。矩形波導管(5)一側通過金屬網格(6)與等離子體產生裝置相連，包括飛行管(7)、飛行管頂端的等離子體發生器(8)及真空泵源(9)。另一側則通過隔膜(11)與等離子體探針組相連。

2.根據權利要求1所述的矩形波導微波與等離子體相互作用裝置，其特征在于，該裝置為軸對稱結構。

3.根據權利要求1所述的矩形波導微波與等離子體相互作用裝置，其特征在于，該裝置矩形波導管(5)的橫截面為120*60mm，其長度為1300mm。