[發明專利]一種吸氣劑電加熱激活裝置

有效

• 申請號: 201610207890.2
• 申請日: 2016-04-06
• 公開（公告）號: CN105692545B
• 公開（公告）日: 2017-08-25
• 發明（設計）人: 趙照
• 申請（專利權）人: 合肥芯福傳感器技術有限公司
• 主分類號: B81C1/00
• 分類號: B81C1/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種吸氣劑加熱激活裝置，具體涉及一種吸氣劑電加熱激活裝置。

背景技術

采用MEMS工藝制造的智能傳感器，如：加速度、陀螺儀、諧振壓力、光電圖像等，這些智能傳感器需要工作在高真空、高潔凈的環境下，才能保障其指標Q值和壽命。為了滿足智能傳感器工作環境需求，通常將智能傳感器封裝于密閉腔體內并在密閉腔體內設置雜質吸附器件，例如吸氣劑，用來吸收封裝腔體內部緩慢釋放的氣體、水分等污染物，維持內部高真空環境。

目前，吸氣劑普遍采用薄膜、柱狀、片狀等形態，在使用前需要將吸氣劑加熱到300～900℃，充分激活后才能夠正常使用。例如本公司在申請號為2015107877841中所公開的，其中，柱狀及片狀吸氣劑通常采用內置金屬絲進行電加熱激活，而薄膜狀吸氣劑則通常采用金屬板加熱激活。采用上述吸氣劑加熱激活裝置，其溫度無法精確控制，不能確保充分激活吸氣劑，無法滿足市場對高性能吸氣劑激活裝置的需求。

發明內容

為了解決上述問題，本發明的目的在于提供一種新型吸氣劑電加熱激活裝置，對傳統吸氣劑加熱激活裝置進行了突破性的改進，顯著提高激活效果。

本發明采用的技術方案為：一種吸氣劑電加熱激活裝置，包括采用耐高溫絕緣材料制作的支撐橋面，所述支撐橋面通過導電橋墩搭建起來，在支撐橋面上設置有吸氣材料層，所述吸氣材料層通過電加熱金屬絲加熱激活，所述電加熱金屬絲與導電橋墩電連接，形成供電通路。

優選地，所述吸氣劑電加熱激活裝置為單層結構，所述支撐橋面的個數為1，所述吸氣材料層和電加熱金屬絲分別設置在支撐橋面的上表面和下表面上，或者下表面和上表面上。

優選地，所述吸氣劑電加熱激活裝置為單層結構，所述支撐橋面的個數為2，其中，第一支撐橋面通過導電橋墩搭建起來，第二支撐橋面通過電加熱金屬絲設置在第一支撐橋面上，所述吸氣材料層分別設置在第一支撐橋面的下表面和第二支撐橋面的上表面上。

優選地，所述吸氣劑電加熱激活裝置為多層結構，每一層中支撐橋面的個數為1，所述吸氣材料層和電加熱金屬絲分別設置在支撐橋面的上表面和下表面上，或者下表面和上表面上。

優選地，所述吸氣劑電加熱激活裝置為多層結構，每一層中支撐橋面個數為2，其中，第一支撐橋面通過導電橋墩搭建起來，第二支撐橋面通過電加熱金屬絲設置在第一支撐橋面上，所述吸氣材料層分別設置在第一支撐橋面的下表面和第二支撐橋面的上表面上。

優選地，所述電加熱金屬絲為彎折狀或圓環狀。

優選地，所述導電橋墩采用金屬或合金制成。

優選地，所述吸氣材料層是合金或石墨烯。

優選地，所述支撐橋面的形狀為方形、多邊形或圓形。

優選地，所述支撐橋面采用氮化硅或氧化硅制作而成。

與現有技術相比，本發明的有益效果在于：

本發明對傳統吸氣劑加熱激活裝置進行了突破性的改進，將采用耐高溫絕緣材料制作的支撐橋面通過橋墩搭建起來，在支撐橋面上設置有吸氣材料層，所述吸氣材料層通過電加熱金屬絲進行加熱激活。使用時，在高真空環境下將電加熱金屬絲通電加熱，利用其“熱電阻效應”間歇性檢測電阻值，實現閉環檢測溫度，準確控制溫度，充分激活吸氣材料，提高吸氣效率，全面保障相關真空器件的性能和壽命；另外，將本發明設計成多層結構能夠為吸氣材料提供更多安置空間，在有限的空間內顯著增大吸氣材料接觸面積，提高吸氣效果，延長相關真空器件使用壽命。

附圖說明

圖1是實施例1中提供的吸氣劑電加熱激活裝置結構示意圖1；

圖2是實施例1中提供的吸氣劑電加熱激活裝置結構示意圖2；

圖3是實施例1中提供的吸氣劑電加熱激活裝置結構示意圖3；

圖4是本發明吸氣劑電加熱激活裝置俯視圖1；

圖5是本發明吸氣劑電加熱激活裝置俯視圖2；

圖6是實施例2提供的吸氣劑電加熱激活裝置結構示意圖4；

圖7是實施例2提供的吸氣劑電加熱激活裝置結構示意圖5；

圖8是實施例2提供的吸氣劑電加熱激活裝置結構示意圖6。

具體實施方式

以下結合附圖對本發明作進一步描述。