[發(fā)明專利]一種PVDF超聲換能器電極的制作方法及PVDF超聲換能器在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610207534.0 | 申請(qǐng)日： | 2016-04-05 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN105772380A | 公開（公告）日： | 2016-07-20 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王波;彭寬;肖嘉瑩;朱自強(qiáng) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 湖南大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | B06B1/06 | 分類號(hào)： | B06B1/06;B06B3/04;H01L41/047 |
| 代理公司： | 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002 | 代理人： | 李相雨 |
| 地址： | 410082 湖南*** | 國(guó)省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 pvdf 超聲 換能器 電極 制作方法 | ||
1.一種PVDF超聲換能器電極的制作方法，其特征在于，包括：
獲取超聲換能器電極的圖案；
將所述圖案覆蓋在PVDF導(dǎo)電薄膜上，所述PVDF導(dǎo)電薄膜的上 下表面的電極為鋁電極，且其上表面涂有感光材料；
對(duì)覆蓋了圖案的PVDF導(dǎo)電薄膜進(jìn)行曝光、顯影、蝕刻及脫模處 理，得到超聲換能器電極。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，將所述圖案覆蓋在 PVDF導(dǎo)電薄膜上，具體包括：
在掩膜板上制作所述超聲換能器電極的圖案，將帶有所述圖案的 所述掩膜板覆蓋在所述PVDF導(dǎo)電薄膜上；或
將所述超聲換能器電極的圖案通過光學(xué)方法成像在所述PVDF導(dǎo) 電薄膜上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述在掩膜板上制 作所述超聲換能器電極的圖案，具體為：
在菲林片上打印出所述超聲換能器電極的圖案。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述感光材料為感 光藍(lán)油。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，采用紫外燈對(duì)所述 覆蓋了所述電極圖案的PVDF導(dǎo)電薄膜進(jìn)行曝光。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，對(duì)所述覆蓋了所述 電極圖案的PVDF導(dǎo)電薄膜進(jìn)行蝕刻處理時(shí)采用的溶液為(1±0.2)％ 的碳酸鈉溶液；
對(duì)所述覆蓋了所述電極圖案的PVDF導(dǎo)電薄膜進(jìn)行顯影時(shí)采用的 溶液為氯化鐵和鹽酸的混合溶液。
7.一種PVDF超聲換能器，其特征在于，包括：根據(jù)權(quán)利要求1-6 任一項(xiàng)所述的方法制作的超聲換能器電極。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的超聲換能器，其特征在于，所述超聲換 能器電極的形狀為環(huán)形陣列。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的超聲換能器，其特征在于，所述超聲換 能器電極的導(dǎo)線采用導(dǎo)電銀膠連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的超聲換能器，其特征在于，所述超聲 換能器的背襯材料為非導(dǎo)電環(huán)氧樹脂。
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