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[發明專利]具有接觸塞的半導體裝置及其形成方法有效

專利信息
申請號: 201610206422.3 申請日: 2016-04-05
公開(公告)號: CN106067464B 公開(公告)日: 2020-05-12
發明(設計)人: 尹彰燮;金盛民;趙治元 申請(專利權)人: 三星電子株式會社
主分類號: H01L27/092 分類號: H01L27/092;H01L27/11;H01L21/8238
代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286 代理人: 劉燦強;尹淑梅
地址: 韓國京畿*** 國省代碼: 暫無信息
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摘要:
搜索關鍵詞: 具有 接觸 半導體 裝置 及其 形成 方法
【權利要求書】:
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