[發明專利]一種用于膜厚測量的定位裝置

在審

• 申請號: 201610205408.1
• 申請日: 2016-04-01
• 公開（公告）號: CN105737786A
• 公開（公告）日: 2016-07-06
• 發明（設計）人: 梅林;張立超;才璽坤;武瀟野;時光;賀健康;隋永新;楊懷江
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01B21/08
• 分類號: G01B21/08
• 代理公司: 深圳市科進知識產權代理事務所(普通合伙) 44316
• 代理人: 郝明琴

技術領域

本發明涉及鍍膜元件膜層厚度修正測量時的定位技術，特別是涉及一種用于膜厚測量的定位裝置。

背景技術

在大口徑元件鍍膜時，由于口徑較大，不能夠保證膜厚的均勻性，需要利用均勻性修正擋板對膜厚進行調整，在膜厚修正的過程中需要測量不同位置的膜層厚度。由于膜厚測量儀不具備定位功能，在大口徑鍍膜元件膜厚測量時，不能夠實現對不同位置膜層厚度的測量。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是，針對現有的膜厚測量儀不具備定位功能，在大口徑鍍膜元件膜厚測量時，不能夠實現對不同位置膜層厚度的測量的缺陷，提供一種用于膜厚測量的定位裝置。

本發明上述技術問題所采用的技術方案如下：

提供一種用于膜厚測量的定位裝置，包括中間開口的元件支撐基座、下底板支撐基座、支撐連接在所述元件支撐基座與下底板支撐基座之間的支撐金屬柱、固定設置在所述下底板支撐基座上的支撐臺、旋轉連接在所述支撐臺上的精密旋轉臺、固定在所述精密旋轉臺上的精密平移臺、滑動設置在所述精密平移臺上的滑動臺面及插在所述滑動臺面上的激光筆。

根據本發明的用于膜厚測量的定位裝置，通過調節精密旋轉臺可以定位不同角度，實現極角的功能，通過調節精密平移臺可以定位不同半徑的位置，實現極軸的功能，利用激光筆的光線照射在元件表面形成一個光斑，將光斑與膜厚測量儀的測量探頭對準，即可實現測量位置的定位。該定位裝置具有精密旋轉臺和精密平移臺，因為可以實現對任意位置的精準定位，滿足在膜厚調整中，對膜厚測量的定位要求，并且實現容易、操作簡單。

附圖說明

圖1是本發明一實施例提供的一種用于膜厚測量的定位裝置的結構示意圖。

其中：1、元件支撐基座；2、下底板支撐基座；3、支撐金屬柱；4、支撐臺；5、精密旋轉臺；6、精密平移臺；7，滑動臺面；8、激光筆。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明作進一步闡述。

參見圖1，本發明一實施提供的用于膜厚測量的定位裝置，包括中間開口的元件支撐基座1、下底板支撐基座2、支撐連接在所述元件支撐基座1與下底板支撐基座2之間的支撐金屬柱3、固定設置在所述下底板支撐基座2上的支撐臺4、旋轉連接在所述支撐臺4上的精密旋轉臺5、固定在所述精密旋轉臺5上的精密平移臺6、滑動設置在所述精密平移臺6上的滑動臺面7及插在所述滑動臺面7上的激光筆8。

本實施例中，所述元件支撐基座1的中間開口的邊緣處形成有用于放置鍍膜元件或者鍍膜夾具的環形凹槽9。

本實施例中，所述下底板支撐基座2中間設置有用于固定所述支撐臺4的固定孔位。

本實施例中，下底板支撐基座2通過四根支撐金屬柱3與元件支撐基座1固定相連。四根所述支撐金屬柱3沿圓周方向均勻排布在所述元件支撐基座1與下底板支撐基座2之間，即相鄰兩根所述支撐金屬柱3間隔90度。

本實施例中，支撐臺4用于連接精密旋轉臺5，精密旋轉臺5能夠相對支撐臺4旋轉。精密旋轉臺5上具有指示不同的定位角度的角度刻度，可以調節精密旋轉臺5不同的定位角度。另外，所述精密旋轉臺5具有用于將精密旋轉臺5固定在某一角度上的旋轉鎖死機構(圖中未標示)，即精密旋轉臺5具有角度鎖死功能。

本實施例中，精密平移臺6具有用于指示不同定位半徑的線性刻度，可以根據測量需求，定位不同的半徑。另外，所述精密平移臺6具有用于將滑動臺面7固定在某一半徑上的平移鎖死機構。

鎖死精密平移臺6時，通過旋轉精密旋轉臺5，可以測量同一半徑下不同的角度，實現同一半徑下不同極角的測量定位；當然，鎖死旋轉精密旋轉臺5時，通過調節精密平移臺6，可以測量同一極角下的不同半徑的定位測量。從而，實現了不同極角，不同半徑(極軸)的連續定位。

本實施例中，如圖1所示，所述滑動臺面7上設置有位于所述滑動臺面7正中心的中間孔位，所述激光筆8插入所述中間孔位。激光筆8的光線可以照射在鍍膜元件表面形成一個小的光斑，在利用膜厚測量儀測量膜厚時，將測量探頭與光斑位置對準，調節精密旋轉臺5和精密平移臺6就實現了對鍍膜元件不同位置的膜厚測量。

本實施例中，所述激光筆8照射在鍍膜元件上的光斑大小與膜厚測量儀的測量探頭匹配。例如，膜厚測量儀的測量探頭是一個直徑3mm的光纖頭，激光筆8的光線照射在鍍膜元件表面時形成一個直徑為3mm的光斑。

顯然，上述實施例僅僅是為清楚地說明本發明所作的舉例，而并非是對本發明的實施方式的限定。對于所屬領域的普通技術人員來說，在上述說明的基礎上還可以做出其它不同形式的變化或變動。這里無需也無法對所有的實施方式予以窮舉。而這些屬于本發明的精神所引伸出的顯而易見的變化或變動仍處于本發明的保護范圍之中。