[發明專利]一種基于激光自混合干涉的小型光學測頭

在審

• 申請號: 201610204048.3
• 申請日: 2016-03-31
• 公開（公告）號: CN105716526A
• 公開（公告）日: 2016-06-29
• 發明（設計）人: 吳騰飛;李醒飛;寇科;王錯;李立
• 申請（專利權）人: 天津大學
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00
• 代理公司: 天津市北洋有限責任專利代理事務所 12201
• 代理人: 劉玥

1.一種基于激光自混合干涉的小型光學測頭，其特征在于，包括垂直腔面發射激光器(VCSEL)、驅動電路和信號處理電路，所述垂直腔面發射激光器(VCSEL)由準直透鏡、激光器和光電三極管構成，所述激光器通過所述驅動電路驅動產生激光束，所述準直透鏡將激光束匯聚于被測物體，被測物體反射回的激光束在激光器內發生自混合干涉形成自混合干涉信號，所述光電三極管將自混合干涉信號轉換為電流信號后傳送至信號處理電路。

2.根據權利要求1所述的一種基于激光自混合干涉的小型光學測頭，其特征在于，所述驅動電路包括數字信號處理器、數模轉換器、電壓基準芯片、加法電路和電流泵，所述數字信號處理器存儲有重構的鋸齒波電流數據，數字信號處理器的輸出端與所述數模轉換器的輸入端相連，數模轉換器和電壓基準芯片的輸出端與加法電路的輸入端相連，加法電路的輸出端與電流泵的輸入端相連，電流泵與所述激光器相連。

3.根據權利要求2所述的一種基于激光自混合干涉的小型光學測頭，其特征在于，所述電流泵上設置有限流保護電路。

4.根據權利要求1所述的一種基于激光自混合干涉的小型光學測頭，其特征在于，所述信號處理電路由依次相連的電流電壓轉換電路、放大電路、低通濾波電路和模數轉換器構成。

5.根據權利要求1所述的一種基于激光自混合干涉的小型光學測頭，其特征在于，所述垂直腔面發射激光器(VCSEL)的直徑為6mm，長為8mm。