[發(fā)明專利]一種IC芯片封裝方法及結(jié)構(gòu)在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610203455.2 | 申請日: | 2016-04-01 |
| 公開(公告)號: | CN107293497A | 公開(公告)日: | 2017-10-24 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 吳泉清;許慶祥;劉軍 | 申請(專利權(quán))人: | 華潤矽威科技(上海)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/50 | 分類號: | H01L21/50;H01L21/56;H01L21/58;H01L21/60;H01L23/498;H01L23/31 |
| 代理公司: | 上海光華專利事務(wù)所31219 | 代理人: | 余明偉 |
| 地址: | 201103 上海市閔行區(qū)*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 ic 芯片 封裝 方法 結(jié)構(gòu) | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明屬于芯片封裝領(lǐng)域,涉及一種IC芯片封裝方法及結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)
圖1及圖2是現(xiàn)有的一種典型的IC封裝裝置(分別為俯視圖及剖面圖),主要包括引線框架101(Lead Frame),芯片焊盤102,焊接金線103(Bonding Gold Wire)、銀漿104(Epoxy)和塑封材料105(Mold Compound)等,其中,IC芯片106通過所述銀漿104粘貼于所述芯片焊盤102上。引線框架101的作用是提供電路連接和Die的固定作用,主要材料為銅,會在上面進行鍍銀、NiPdAu等材料。焊接金線103的作用是實現(xiàn)芯片和外部引線框架的電性和物理連接,金線采用的是99.99%的高純度金。出于成本考慮,也可采用銅線或鋁線,優(yōu)點是成本降低,同時工藝難度加大,良率降低。塑封材料105的主要成分為環(huán)氧樹脂及各種添加劑(固化劑,改性劑,脫模劑,染色劑,阻燃劑等),主要功能為在熔融狀態(tài)下將芯片和引線框架包裹起來,提供物理和電氣保護,防止外界干擾。銀漿104的成分為環(huán)氧樹脂填充金屬粉末(Ag),有三個作用:將芯片固定在芯片焊盤上;散熱作用;導(dǎo)電作用。
典型的IC封裝流程包括前段工藝和后段工藝,其中,前段工藝(FOL-Front of Line)主要包括如下流程:晶圓(Wafer)——磨片(Back Grinding)——晶圓安裝(Wafer Mount)——晶圓切割(Wafer Saw)——晶圓清洗(Wafer Wash)——第二道光檢(2nd Optical)——芯片粘接(Die Attach)——銀漿固化(Epoxy Cure)——引線焊接(Wire Bond)——第三道光檢(3rd Optical);后段工藝(EOL-End of Line)主要包括如下流程:注塑(Molding)——激光打字(Laser Mark)——高溫固化(PMC)——去溢料/電鍍(De-flash/Plating)——電鍍退火(Annealing)——切筋/成型(Trim/Form)——第四道光檢(4th Optical)。
相對于IC芯片封裝,LED芯片封裝相對簡單。圖3是一種典型的LED芯片封裝外形,包括LED芯片,支架,金線,銀漿,熒光粉,焊球等,其封裝流程如下:劃片——測試(芯片分選)——背膠——固晶——烘干——焊線——檢驗——灌膠——烘干——脫模——半切——測試——全切——長烤——分選——打包。以白光LED為例,典型的LED芯片簡易封裝流程如下:固晶——固晶烘烤——焊線——熒光粉涂布——熒光粉烘烤——透鏡安裝/灌膠成型——膠體烘烤——半切——初測——而且——測試分檔——檢驗包裝。
現(xiàn)有的IC芯片封裝過程復(fù)雜,工藝多達二十多道,效率低,成本較高。因此,如何提供一種新的IC芯片封裝方法及結(jié)構(gòu),以簡化封裝流程、提高生產(chǎn)效率、降低封裝成本,成為本 領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個重要技術(shù)問題。
發(fā)明內(nèi)容
鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點,本發(fā)明的目的在于提供一種IC芯片封裝方法及結(jié)構(gòu),用于解決現(xiàn)有技術(shù)中IC芯片封裝過程復(fù)雜、效率較低、成本較高的問題。
為實現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的,本發(fā)明提供一種IC芯片封裝方法,所述IC芯片封裝方法包括如下步驟:
S1:提供一芯片支架;所述芯片支架包括塑膠基座及至少兩個引腳;所述塑膠基座中設(shè)有一凹腔;所述引腳貫穿凹腔的側(cè)壁,且引腳的外端暴露于所述塑膠基座外、引腳的內(nèi)端位于所述凹腔內(nèi);
S2:將IC芯片放置于所述凹腔中并固晶;
S3:通過焊接引線將所述IC芯片與所述引腳內(nèi)端連接;
S4:在所述凹腔內(nèi)灌入膠體,封住所述IC芯片及所述引腳內(nèi)端。
可選地,于所述步驟S1中,所述引腳表面預(yù)先形成有電鍍層。
可選地,于所述步驟S4中,還包括膠體烘烤的步驟。
可選地,于所述步驟S4之后,還包括對所述引腳外端進行電鍍以形成電鍍層的步驟。
可選地,于所述步驟S1中,所述芯片支架嵌于支撐框架內(nèi);所述支撐框架中設(shè)有若干用于支撐所述芯片支架的支撐位。
可選地,于所述步驟S4之后,還包括將所述芯片支架從所述支撐框架上取下,并對封裝于所述芯片支架上的IC芯片進行測試、分包的步驟。
可選地,所述IC芯片通過對晶圓劃片得到。
可選地,所述凹腔底部設(shè)有一散熱基板,所述IC芯片固晶于所述散熱基板上。
可選地,所述芯片支架采用LED芯片支架。
本發(fā)明還提供一種IC芯片封裝結(jié)構(gòu),所述IC芯片封裝結(jié)構(gòu)包括:
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





