[發明專利]沉積材料的方法和設備有效
| 申請號： | 201610201666.2 | 申請日： | 2016-03-31 |
| 公開（公告）號： | CN106011761B | 公開（公告）日： | 2020-12-29 |
| 發明（設計）人： | 斯蒂芬·R·伯吉斯;R·辛德曼;阿米特·拉斯托吉;保羅·埃杜拉多·利馬;C·L·威迪克斯;保羅·理查;斯科特·海莫爾;丹尼爾·庫克 | 申請（專利權）人： | SPTS科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287 | 代理人： | 章蕾 |
| 地址： | 英國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 沉積 材料 方法 設備 | ||
【權利要求書】：
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