[發(fā)明專(zhuān)利]一種用于光刻機(jī)曝光的快門(mén)裝置及其使用方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610200735.8
• 申請(qǐng)日: 2016-03-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107290938B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-05-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳夢(mèng)來(lái);章富平
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種用于光刻機(jī)曝光的快門(mén)裝置，其特征在于，包括快門(mén)葉片、驅(qū)動(dòng)所述快門(mén)葉片旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)電機(jī)、與所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)電聯(lián)接的控制器和用于支撐所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)的底座，所述快門(mén)葉片包括一旋轉(zhuǎn)中心，以及對(duì)應(yīng)所述旋轉(zhuǎn)中心設(shè)置的至少一開(kāi)口區(qū)域和遮蔽區(qū)域，所述旋轉(zhuǎn)中心連接至所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)帶動(dòng)所述快門(mén)葉片旋轉(zhuǎn)完成快門(mén)的開(kāi)閉動(dòng)作，以形成曝光區(qū)域和非曝光區(qū)域，且在形成所述曝光區(qū)域和所述非曝光區(qū)域過(guò)程中，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)和/或快門(mén)葉片旋轉(zhuǎn)速度不為零。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于光刻機(jī)曝光的快門(mén)裝置，其特征在于，所述快門(mén)葉片的旋轉(zhuǎn)中心和旋轉(zhuǎn)電機(jī)之間還設(shè)有連接塊。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于光刻機(jī)曝光的快門(mén)裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)與所述連接塊之間還設(shè)有減速器。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于光刻機(jī)曝光的快門(mén)裝置，其特征在于，所述底座與所述減速器固定連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于光刻機(jī)曝光的快門(mén)裝置，其特征在于，所述快門(mén)葉片中的開(kāi)口區(qū)域和遮蔽區(qū)域分別為1個(gè)，所述開(kāi)口區(qū)域和遮蔽區(qū)域?qū)?yīng)的圓心角均為180度。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于光刻機(jī)曝光的快門(mén)裝置，其特征在于，所述快門(mén)葉片中的開(kāi)口區(qū)域和遮蔽區(qū)域分別為2個(gè)，沿所述旋轉(zhuǎn)中心對(duì)稱(chēng)設(shè)置，所述開(kāi)口區(qū)域和遮蔽區(qū)域?qū)?yīng)的圓心角均為90度。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于光刻機(jī)曝光的快門(mén)裝置，其特征在于，所述快門(mén)葉片中的開(kāi)口區(qū)域和遮蔽區(qū)域分別為3個(gè)，沿所述旋轉(zhuǎn)中心間隔設(shè)置，所述開(kāi)口區(qū)域和遮蔽區(qū)域?qū)?yīng)的圓心角均為60度。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于光刻機(jī)曝光的快門(mén)裝置，其特征在于，所述遮蔽區(qū)域包括沿所述旋轉(zhuǎn)中心由內(nèi)而外同心設(shè)置的鏤空部分和光斑掃描區(qū)域遮蔽部分。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于光刻機(jī)曝光的快門(mén)裝置，其特征在于，所述鏤空部分呈扇環(huán)形，所述光斑掃描區(qū)域遮蔽部分呈環(huán)形。

10.一種用于光刻機(jī)曝光的快門(mén)裝置的使用方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1：安裝快門(mén)葉片、旋轉(zhuǎn)電機(jī)、控制器和底座，所述快門(mén)葉片具有一旋轉(zhuǎn)中心，以及對(duì)應(yīng)所述旋轉(zhuǎn)中心設(shè)置的至少一開(kāi)口區(qū)域和遮蔽區(qū)域；

S2：通過(guò)控制器控制所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)旋轉(zhuǎn)，從而帶動(dòng)所述快門(mén)葉片旋轉(zhuǎn)，在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中完成快門(mén)的開(kāi)閉動(dòng)作，以形成曝光區(qū)域和非曝光區(qū)域。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的用于光刻機(jī)曝光的快門(mén)裝置的使用方法，其特征在于，所述步驟S1中，所述遮蔽區(qū)域包括沿所述旋轉(zhuǎn)中心由內(nèi)而外同心設(shè)置的鏤空部分和光斑掃描區(qū)域遮蔽部分。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的用于光刻機(jī)曝光的快門(mén)裝置的使用方法，其特征在于，所述鏤空部分呈扇環(huán)形，所述光斑掃描區(qū)域遮蔽部分呈環(huán)形。

13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的用于光刻機(jī)曝光的快門(mén)裝置的使用方法，其特征在于，所述步驟S2中，在形成所述曝光區(qū)域和非曝光區(qū)域過(guò)程中，所述控制器控制旋轉(zhuǎn)電機(jī)啟動(dòng)后，帶動(dòng)所述快門(mén)葉片進(jìn)行加速-勻速-減速-靜止-加速的循環(huán)運(yùn)動(dòng)。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的用于光刻機(jī)曝光的快門(mén)裝置的使用方法，其特征在于，在所述快門(mén)關(guān)閉階段中，所述快門(mén)葉片完成所述加速過(guò)程和減速過(guò)程，在所述快門(mén)打開(kāi)階段，所述快門(mén)葉片處于勻速旋轉(zhuǎn)狀態(tài)。

15.根據(jù)權(quán)利要求10所述的用于光刻機(jī)曝光的快門(mén)裝置的使用方法，其特征在于，所述步驟S2中，在形成所述曝光區(qū)域和非曝光區(qū)域過(guò)程中，所述控制器控制所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)啟動(dòng)后，帶動(dòng)所述快門(mén)葉片進(jìn)行加速-勻速-減速-勻速-加速的循環(huán)運(yùn)動(dòng)。