[發明專利]一種前開門式類金剛石碳膜沉積裝置

有效

• 申請號: 201610200536.7
• 申請日: 2016-03-31
• 公開（公告）號: CN105671517B
• 公開（公告）日: 2018-05-25
• 發明（設計）人: 向勇;傅紹英;徐子明;孫力
• 申請（專利權）人: 成都西沃克真空科技有限公司
• 主分類號: C23C16/26
• 分類號: C23C16/26;C23C16/44
• 代理公司: 北京眾達德權知識產權代理有限公司 11570
• 代理人: 詹守琴

1.一種前開門式類金剛石碳膜沉積裝置，其特征在于，包括真空室、門體、陽極靶、陰極靶、驅動機構和抽真空裝置；

所述真空室的上蓋與所述真空室的室底相對，所述真空室的側壁連接所述上蓋和所述室底，以形成一腔室；

所述側壁上開設有一開口；

所述門體與所述真空室連接，用于蓋設于所述開口；

所述陽極靶和所述陰極靶設置在所述真空室的內部，且，所述陽極靶與所述陰極靶相對設置，所述陰極靶位于所述室底與所述陽極靶之間；

所述驅動機構穿過所述室底與所述陰極靶相連；

所述抽真空裝置與所述真空室連通；

其中，在所述開口處設置有電場平衡機構，所述電場平衡機構可拆卸式連接在所述開口處的真空室的側壁上，以補全所述開口。

2.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述門體上具有一探視窗。

3.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述門體呈方形或圓形。

4.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，還包括升降機構；

所述升降機構與所述上蓋相連。

5.如權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述升降機構為電動升降機構或液壓升降機構。

6.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述驅動機構為電機。

7.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，還包括調節閥；

所述調節閥設置在所述抽真空裝置與所述真空室連通處。

8.如權利要求7所述的裝置，其特征在于，所述調節閥為可調電動閥。

9.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述抽真空裝置為分子泵。