[發明專利]基板處理裝置及基板處理方法有效
| 申請號： | 201610200531.4 | 申請日： | 2016-03-31 |
| 公開（公告）號： | CN106480412B | 公開（公告）日： | 2019-02-05 |
| 發明（設計）人： | 權永秀;羅敬弼;樸鐘吾;崔湞烈 | 申請（專利權）人： | 圓益IPS股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京青松知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 鄭青松 |
| 地址： | 韓國京畿道平*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 處理 裝置 方法 | ||
【說明書】：
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