[發明專利]對準裝置在審
| 申請號： | 201610200491.3 | 申請日： | 2016-03-31 |
| 公開（公告）號： | CN107290942A | 公開（公告）日： | 2017-10-24 |
| 發明（設計）人： | 周鈺穎;陸海亮 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備（集團）股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F9/00 | 分類號： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李時云 |
| 地址： | 201203 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 對準 裝置 | ||
1.一種對準裝置，用于光刻系統，其特征在于，包括照明單元、光學單元、探測單元及處理單元；其中，
所述照明單元，用于提供垂直照射對準標記的光源；
所述光學單元，用于將所述對準標記產生的正級次與負級次的衍射光平行并匯聚到其焦面上；
所述探測單元，設置在所述光學單元的焦面，使正、負級次衍射光在探測面上成像；
所述處理單元，根據正、負級次衍射光的成像信息得到正負級次衍射光的干涉光強信號，根據所述干涉光強信號隨運動臺位置變化的關系計算對準位置信息。
2.如權利要求1所述的對準裝置，其特征在于，所述光源為單波段光源。
3.如權利要求2所述的對準裝置，其特征在于，所述光學單元包括：
第一光學元件，用于將所述對準標記產生的正級次/負級次衍射光偏轉后與負級次/正級次衍射光平行；
第二光學元件，用于將正、負級次的衍射光匯聚到后焦面上。
4.如權利要求1所述的對準裝置，其特征在于，所述光源為寬波段光源。
5.如權利要求4所述的對準裝置，其特征在于，所述光學單元包括：
第一光學元件，用于將所述對準標記產生的衍射光束分離為多個不同波長的光束，并分別將不同波長的正級次/負級次衍射光偏轉后與同一波長的負級次/正級次衍射光平行；
第二光學元件，用于將不同波長的正、負級次的衍射光匯聚到后焦面上。
6.如權利要求3或5所述的對準裝置，其特征在于，所述第一光學元件設置于正/負級次衍射光的方向上，并垂直設置于所述對準標記平面之上。
7.如權利要求6所述的對準裝置，其特征在于，所述第一光學元件為一多面反射鏡或一柱面反射鏡。
8.如權利要求3或5所述的對準裝置，其特征在于，所述第二光學元件為一匯聚透鏡。
9.如權利要求3所述的對準裝置，其特征在于，所述探測單元包含多個探 測器，每個探測器用于探測同一波長下某一級次的衍射光的干涉信號。
10.如權利要求5所述的對準裝置，其特征在于，所述探測單元包含多個探測器，每個探測器用于探測同一級次下某一波長的衍射光的干涉信號。
11.如權利要求3所述的對準裝置，其特征在于，所述探測單元包含一個探測器，用于探測不同級次的衍射光的干涉信號。
12.如權利要求5所述的對準裝置，其特征在于，所述探測單元包含一個探測器，用于探測不同波長的不同級次衍射光的干涉信號。
13.如權利要求1所述的對準裝置，其特征在于，所述照明單元還包括一反射鏡，用于使光束垂直照射至對準標記。
14.如權利要求1所述的對準裝置，其特征在于，還包括運動臺，用于承載所述對準標記，并帶動所述對準標記沿光柵周期方向移動。
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