[發明專利]一種等離子體電弧監測方法及裝置

有效

• 申請號: 201610200486.2
• 申請日: 2016-03-31
• 公開（公告）號: CN107293465B
• 公開（公告）日: 2019-02-26
• 發明（設計）人: 徐蕾;飯塚浩;席朝暉;倪圖強
• 申請（專利權）人: 中微半導體設備（上海）有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H01J37/244
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 黨麗;王寶筠

1.一種等離子體電弧監測方法，其特征在于，包括：

利用靜電吸盤電源的電信號的變化監測等離子體電弧的發生，電信號包括電壓信號或電流信號；

利用靜電吸盤電源的電信號的變化監測等離子體電弧的發生的步驟包括：

將電信號與第一閾值進行比較，獲得第一比較波形；

將電信號與第二閾值進行比較，獲得第二比較波形，其中，第二閾值大于第一閾值；

判斷第一比較波形中的脈沖的持續時間是否在預設時長范圍內，以輸出第三波形，第三波形中的脈沖對應第一比較波形中脈沖持續時間在預設時長范圍內的脈沖，并判斷在第三波形的脈沖持續時間內，第二比較波形中是否也存在脈沖，若是，則認為有一次等離子體電弧發生。

2.根據權利要求1所述的監測方法，其特征在于，在認為有一次等離子體電弧發生之后，還包括：

輸出預設周期的脈沖波形，以用于電弧的識別。

3.根據權利要求1所述的監測方法，其特征在于，判斷在第三波形的脈沖持續時間內，第二比較波形中是否也存在脈沖的方法包括：

將第二比較波形中的脈沖進行延時，延時結束的時間在第三波形的脈沖翻轉之后的預定時間內，以輸出第四波形；

將第三波形與第四波形進行與邏輯操作，以輸出第五波形，并認為第五波形中的脈沖對應等離子體電弧發生的信號。

4.根據權利要求3所述的監測方法，其特征在于，將第二比較波形中的脈沖進行延時，延時結束的時間在第三波形的脈沖翻轉之后的預定時間內，以輸出第四波形的步驟包括：

將第二比較波形的脈沖通過電容延時電路進行延時，通過電路延時電路確定延時結束的時間，且延時結束的時間在第三波形的脈沖翻轉之后的預定時間內，以輸出第四波形。

5.根據權利要求3所述的監測方法，其特征在于，將第二比較波形中的脈沖進行延時，延時結束的時間在第三波形的脈沖翻轉之后的預定時間內，以輸出第四波形的步驟包括：

將第二比較波形的脈沖延時一段時間，通過第三波形的脈沖下降沿確定延時的結束的時間，且延時結束的時間在第三波形的脈沖翻轉之后的預定時間內，以輸出第四波形。

6.根據權利要求1-5中任一項所述的監測方法，其特征在于，靜電吸盤電源的電信號來自靜電吸盤高壓直流轉換器的電流檢測端口。

7.一種等離子體電弧監測裝置，其特征在于，用于利用靜電吸盤電源的電信號的變化監測等離子體電弧的發生，電信號包括電壓信號或電流信號，包括：

第一比較器，用于將電信號與第一閾值進行比較，獲得第一比較波形；

第二比較器，將電信號與第二閾值進行比較，獲得第二比較波形，其中，第二閾值大于第一閾值；

第一判斷單元，判斷第一比較波形中的脈沖的持續時間是否在預設時長范圍內，以輸出第三波形，第三波形中的脈沖對應第一比較波形中脈沖持續時間在預設時長范圍內的脈沖；

第二判斷單元，用于判斷在第三波形的脈沖持續時間內，第二比較波形中是否也存在脈沖，若是，則認為有一次等離子體電弧發生。

8.根據權利要求7所述的監測裝置，其特征在于，還包括：

脈沖輸出單元，用于輸出預設周期的脈沖波形，以用于電弧的識別。

9.根據權利要求7所述的監測裝置，其特征在于，第二判斷單元包括：延時單元，用于將第二比較波形中的脈沖進行延時，延時結束的時間在第三波形的脈沖翻轉之后的預定時間內，以輸出第四波形；

與電路單元，用于將第三波形與第四波形進行與邏輯操作，以輸出第五波形，并認為第五波形中的脈沖對應等離子體電弧發生的信號。

10.根據權利要求9所述的監測裝置，其特征在于，延時單元為電容延時電路，通過電容延時電路將第二比較波形的脈沖延時，并通過延時電路確定延時結束的時間，且延時結束的時間在第三波形的脈沖翻轉之后的預定時間內，以輸出第四波形。