[發(fā)明專(zhuān)利]掩膜版機(jī)械手預(yù)對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)及掩膜版上版的方法和應(yīng)用

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610200480.5
• 申請(qǐng)日: 2016-03-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107285006B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-02-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 紀(jì)國(guó)友;吳福龍
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B65G47/90
• 分類(lèi)號(hào): B65G47/90
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種掩膜版上版的方法，其特征在于，對(duì)準(zhǔn)方法步驟如下：

步驟1、 X向初定位：第一X向驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)X向運(yùn)動(dòng)組件沿X向相向運(yùn)動(dòng)，左夾持板和右?jiàn)A持板沿X方向相向運(yùn)動(dòng)設(shè)定位置，左夾持爪和右?jiàn)A持爪托住掩膜版但不夾緊掩膜版的X向相對(duì)兩側(cè)邊，使所述X向運(yùn)動(dòng)組件托住位于上方的掩膜版；

步驟2、 X向二次定位：待X向初定位后，第二X向驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)所述X向運(yùn)動(dòng)組件繼續(xù)沿X向相向運(yùn)動(dòng)，所述左夾持板和所述右?jiàn)A持板繼續(xù)沿X方向相向運(yùn)動(dòng)設(shè)定位置，所述左夾持板和所述右?jiàn)A持板卡緊掩膜版的X向相對(duì)兩側(cè)邊，使所述X向運(yùn)動(dòng)組件在X向夾緊掩膜版。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版上版的方法，其特征在于，在步驟2之前、同時(shí)或之后還包括Y向定位，具體為：Y向驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)Y向運(yùn)動(dòng)組件沿Y向運(yùn)動(dòng)，所述Y向運(yùn)動(dòng)組件作用所述掩膜版，進(jìn)行Y向定位。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版上版的方法，其特征在于，所述第一X向驅(qū)動(dòng)器優(yōu)選采用電機(jī)驅(qū)動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版上版的方法，其特征在于，所述第二X向驅(qū)動(dòng)器采用氣缸驅(qū)動(dòng)、液壓驅(qū)動(dòng)或氣液混合驅(qū)動(dòng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜版上版的方法，其特征在于，所述Y向驅(qū)動(dòng)器采用氣缸驅(qū)動(dòng)、液壓驅(qū)動(dòng)或氣液混合驅(qū)動(dòng)。

6.一種掩膜版機(jī)械手預(yù)對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)，包括X向預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置和設(shè)置在機(jī)械手手臂上的底座，其特征在于，所述X向預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置包括：

X向運(yùn)動(dòng)組件，在上版時(shí)用于掩膜版X向的定位夾緊；

第一X向驅(qū)動(dòng)器，驅(qū)動(dòng)所述X向運(yùn)動(dòng)組件對(duì)掩膜版進(jìn)行X向初次定位；

第二X向驅(qū)動(dòng)器，X向初次定位后驅(qū)動(dòng)所述X向運(yùn)動(dòng)組件對(duì)掩膜版進(jìn)行X向二次定位；

X向傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于將所述第一X向驅(qū)動(dòng)器和第二X向驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)力傳遞給所述X向運(yùn)動(dòng)組件；

其中，所述X向運(yùn)動(dòng)組件包括左運(yùn)動(dòng)組件、右運(yùn)動(dòng)組件和沿X方向設(shè)置的導(dǎo)軌，所述左運(yùn)動(dòng)組件和右運(yùn)動(dòng)組件鏡像設(shè)置在所述導(dǎo)軌上，沿所述導(dǎo)軌相向或相反運(yùn)動(dòng)；

所述導(dǎo)軌包括軌道、第一滑塊和第二滑塊，所述第一滑塊設(shè)置在所述軌道的左右兩端，所述第二滑塊設(shè)置在兩端所述第一滑塊之間，所述左運(yùn)動(dòng)組件包括左夾持板和左夾持爪，所述左夾持爪設(shè)置在所述左夾持板上，所述左夾持板連接左端的所述第一滑塊，所述右運(yùn)動(dòng)組件包括右?jiàn)A持板和右?jiàn)A持爪，所述右?jiàn)A持爪設(shè)置在所述右?jiàn)A持板上，所述右?jiàn)A持板連接右端的所述第一滑塊，所述第一X向驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)所述第一滑塊帶動(dòng)所述X向運(yùn)動(dòng)組件運(yùn)動(dòng)，所述第二X向驅(qū)動(dòng)器通過(guò)所述第二滑塊帶動(dòng)所述X向運(yùn)動(dòng)組件運(yùn)動(dòng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的掩膜版機(jī)械手預(yù)對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述X向傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括主動(dòng)輪、從動(dòng)輪、中間繞性件和連接件，所述中間繞性件連接所述主動(dòng)輪和從動(dòng)輪，使所述從動(dòng)輪跟隨所述主動(dòng)輪運(yùn)動(dòng)，所述連接件包括左連接件和右連接件，所述左連接件分別連接所述左運(yùn)動(dòng)組件和中間繞性件，所述右連接件分別連接右運(yùn)動(dòng)組件和所述中間繞性件，所述第一X向驅(qū)動(dòng)器與所述主動(dòng)輪連接；所述第二X向驅(qū)動(dòng)器與所述左連接件或所述右連接件連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的掩膜版機(jī)械手預(yù)對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述中間繞性件為傳動(dòng)皮帶或傳動(dòng)鏈條。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的掩膜版機(jī)械手預(yù)對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述X向傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括相互嚙合的左齒輪和左齒條以及相互嚙合的右齒輪和右齒條，所述左運(yùn)動(dòng)組件與所述左齒條固定，所述右運(yùn)動(dòng)組件與所述右齒條固定，所述第一X向驅(qū)動(dòng)器設(shè)有兩個(gè)，分別連接所述左齒輪和右齒輪，所述左齒輪通過(guò)左齒條帶動(dòng)所述左運(yùn)動(dòng)組件，所述右齒輪通過(guò)所述右齒條帶動(dòng)所述右運(yùn)動(dòng)組件；所述第二X向驅(qū)動(dòng)器設(shè)有兩個(gè)，分別與所述左運(yùn)動(dòng)組件和所述右運(yùn)動(dòng)組件連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的掩膜版機(jī)械手預(yù)對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第一X向驅(qū)動(dòng)器優(yōu)選采用電機(jī)驅(qū)動(dòng)。