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[發明專利]一種微機電多值存儲器件有效

專利信息
申請號: 201610200300.3 申請日: 2016-03-31
公開(公告)號: CN105825886B 公開(公告)日: 2018-06-01
發明(設計)人: 萬能 申請(專利權)人: 東南大學
主分類號: G11C13/00 分類號: G11C13/00
代理公司: 南京瑞弘專利商標事務所(普通合伙) 32249 代理人: 楊曉玲
地址: 211189 江*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 電極 石墨烯 多值存儲器件 硅襯底 微機電 抗干擾能力 金屬電極 絕緣連接 懸空設置 靈敏度 硅支撐 器端部 區分度 能耗
【說明書】:
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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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