[發明專利]抗蝕劑組合物及抗蝕圖案的制造方法有效
| 申請號： | 201610200291.8 | 申請日： | 2016-03-31 |
| 公開（公告）號： | CN106019833B | 公開（公告）日： | 2021-07-23 |
| 發明（設計）人： | 杉原昌子;中西潤次;西村崇 | 申請（專利權）人： | 住友化學株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/004 | 分類號： | G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海市華誠律師事務所 31210 | 代理人： | 杜娟 |
| 地址： | 日本國東京都*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 抗蝕劑 組合 圖案 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
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