[發明專利]數字噴射霧化沉積裝置

有效

• 申請號: 201610199304.4
• 申請日: 2016-04-02
• 公開（公告）號: CN105750550B
• 公開（公告）日: 2018-08-03
• 發明（設計）人: 王志亮;張金松;周哲瑋
• 申請（專利權）人: 上海大學
• 主分類號: B22F3/115
• 分類號: B22F3/115;B33Y30/00
• 代理公司: 上海上大專利事務所(普通合伙) 31205
• 代理人: 陸聰明

1.一種數字噴射霧化沉積裝置，其特征在于，包括數字流體發生器（1）、數字射流導管（3）、霧化氣體噴射管（6）和沉積靶（5），所述數字射流導管（3）設置于數字流體發生器（1）上，所述霧化氣體噴射管（6）設置于數字射流導管（3）的出口處，所述沉積靶（5）設置于霧化氣體噴射管（6）的后方；所述數字流體發生器（1）產生穩定的氣泡（2）和液滴（8）間隔流動，并由所述數字射流導管（3）向所述霧化氣體噴射管（6）定向噴射；所述霧化氣體噴射管（6）自上游輸入壓力氣體，所形成氣射流沖擊由所述數字射流導管（3）入射的液滴（8），使液滴（8）發生加速、變形或者破碎，并在所述霧化氣體噴射管（6）的出口向所述沉積靶（5）方向射出霧化液滴群（4），實現霧化沉積過程。

2.根據權利要求1所述的數字噴射霧化沉積裝置，其特征在于，所述數字流體發生器（1）能夠產生氣、液間隔的周期性或者非周期性流動；液滴（8）的生成采用由流動內在屬性產生的被動的自發方式，或者由外部驅動產生的受控的主動方式；所生成的液滴（8）包括單相液滴或者多相液滴或者多相復合液滴；多相復合液滴材料之間互溶或者不互溶。

3.根據權利要求1所述的數字噴射霧化沉積裝置，其特征在于，所述霧化氣體噴射管（6）是自數字射流導管（3）入射的液滴（8）發生霧化并向下游疏運的主要區域，根據不同的霧化要求有收斂或者平直或者擴張內管形狀。

4.根據權利要求1所述的數字噴射霧化沉積裝置，其特征在于，所述數字射流導管（3）和所述霧化氣體噴射管（6）之間位置相對固定或者存在沿噴射方向的受控相對運動。

5.根據權利要求1所述的數字噴射霧化沉積裝置，其特征在于，所述沉積靶（5）是模具或者是沉積物本身，在空間位置固定或者存在多自由度運動。