[發明專利]硅晶片的制造方法有效
| 申請號： | 201610198592.1 | 申請日： | 2016-04-01 |
| 公開（公告）號： | CN106048732B | 公開（公告）日： | 2018-11-30 |
| 發明（設計）人： | 須藤治生;荒木浩司;青木龍彥;前田進 | 申請（專利權）人： | 環球晶圓日本股份有限公司 |
| 主分類號： | C30B33/02 | 分類號： | C30B33/02 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 張桂霞;劉力 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 晶片 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
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