[發明專利]壓印材料排出裝置及壓印設備

有效

• 申請號: 201610197474.9
• 申請日: 2016-03-31
• 公開（公告）號: CN106042650B
• 公開（公告）日: 2018-01-02
• 發明（設計）人: 新井剛;三田裕;高橋祐一;荒木義雅;石橋達
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: B41J2/175
• 分類號: B41J2/175;B41J2/14
• 代理公司: 北京魏啟學律師事務所11398
• 代理人: 魏啟學

1.一種壓印材料排出裝置，其向基板排出壓印材料，通過使模具與所述壓印材料接觸來在所述壓印材料上形成圖案，所述壓印材料排出裝置包括：

收納構件，其包括收納所述壓印材料的收納部；

通路，其與所述收納部連接；以及

排出構件，其包括用于排出所述壓印材料的排出口、產生用于從所述排出口排出所述壓印材料的能量的能量產生元件和布置在所述能量產生元件與所述排出口之間的區域，

其特征在于，所述通路具有第一開口和第二開口，所述第一開口將收納在所述收納部中的壓印材料供給到所述通路中并在所述收納部中開口，所述第二開口向所述收納部供給從所述第一開口供給的所述壓印材料并在所述收納部中開口，并且

所述通路的所述第一開口和所述第二開口之間布置有對所述壓印材料進行過濾的過濾器，從所述第二開口向所述收納部供給從所述第一開口供給到所述通路中、而未穿過所述區域的所述壓印材料。

2.根據權利要求1所述的壓印材料排出裝置，其中，所述過濾器不布置在所述收納部與所述排出構件之間。

3.根據權利要求1所述的壓印材料排出裝置，其中，所述能量產生元件為壓電元件。

4.根據權利要求1所述的壓印材料排出裝置，其中，所述收納構件包括分離膜，所述分離膜使所述收納部與填充有填充液體的填充液體部分離。

5.根據權利要求4所述的壓印材料排出裝置，其中，通過控制填充所述填充液體部的所述填充液體的壓力來控制所述收納部中的壓印材料的壓力。

6.根據權利要求1所述的壓印材料排出裝置，其中，設置在所述第一開口和所述第二開口之間的所述通路中布置有泵。

7.根據權利要求6所述的壓印材料排出裝置，其中，當從所述第一開口向所述第二開口供給所述壓印材料時，所述泵布置在所述過濾器的上游。

8.根據權利要求1所述的壓印材料排出裝置，其中，所述區域不位于使所述第一開口與所述第二開口彼此連接的直線上。

9.根據權利要求1所述的壓印材料排出裝置，其中，所述過濾器具有小于或等于10nm的平均孔徑。

10.根據權利要求1所述的壓印材料排出裝置，其中，當從所述第一開口向所述第二開口供給所述壓印材料時，在所述收納部的表面之中，重力方向上的下表面為底表面，重力方向上的上表面為頂表面，與所述底表面和所述頂表面連接的表面為側表面，并且所述第一開口和所述第二開口在所述收納部的同一表面中開口。

11.根據權利要求1所述的壓印材料排出裝置，其中，當從所述第一開口向所述第二開口供給所述壓印材料時，在所述收納部的表面之中，重力方向上的下表面為底表面，重力方向上的上表面為頂表面，與所述底表面和所述頂表面連接的表面為側表面，并且所述第一開口和所述第二開口在所述收納部的不同表面中開口。

12.根據權利要求11所述的壓印材料排出裝置，其中，所述第一開口和所述第二開口在所述側表面之中的兩個相對的側表面中開口。

13.根據權利要求11所述的壓印材料排出裝置，其中，所述第一開口在所述側表面之中的一個側表面中開口，所述第二開口在所述收納部的頂表面中開口。

14.根據權利要求12所述的壓印材料排出裝置，其中，所述第一開口和所述第二開口在所述側表面的比接近所述頂表面更接近所述底表面的部分中開口。

15.根據權利要求1所述的壓印材料排出裝置，其中，所述收納部經由大氣連通口與大氣連通。

16.根據權利要求13所述的壓印材料排出裝置，其中，所述頂表面設置有捕獲空氣的凹部。

17.根據權利要求1所述的壓印材料排出裝置，其中，當從所述第一開口向所述第二開口供給所述壓印材料時，所述收納部中的壓印材料從所述排出口排出。

18.根據權利要求17所述的壓印材料排出裝置，其中，所述壓印材料排出裝置還包括被構造成調節所述收納部中的壓力的壓力調節單元，所述壓力調節單元使所述收納部中的壓印材料從所述排出口排出。