[發明專利]在原位從半導體處理模塊移除和更換消耗部件的系統

在審

• 申請號: 201610196076.5
• 申請日: 2016-03-31
• 公開（公告）號: CN106611727A
• 公開（公告）日: 2017-05-03
• 發明（設計）人: 戴維·D·塞爾;艾倫·J·米列爾;約翰·多爾蒂;亞歷克斯·帕特森
• 申請（專利權）人: 朗姆研究公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海勝康律師事務所31263
• 代理人: 李獻忠,張華

1.一種群集工具組件，包括：

真空傳送模塊；

具有連接到所述真空傳送模塊的第一側的處理模塊；

具有耦接到所述處理模塊的第二側的第一側的隔離閥；和

耦接到所述隔離閥的第二側的更換站，所述更換站包括更換操作器和部件緩沖區，所述部件緩沖區包括用于容納新的或使用過的消耗部件的多個隔室；

所述處理模塊具有升降機構，以使安裝在所述處理模塊中的消耗部件能放置到升高位置，所述升高位置使所述更換操作器能訪問，以使所述消耗部件能從所述處理模塊移除并存儲至所述部件緩沖區的隔室，

啟用所述更換站的所述更換操作器以將用于所述消耗部件的更換件從所述部件緩沖區安裝回到所述處理模塊；

其中，所述升降機構被配置為通過所述更換操作器接收提供用于更換的所述消耗部件并降低所述消耗部件至安裝位置；

其中，在所述處理模塊和所述更換站保持在真空狀態下時，通過所述更換操作器和所述處理模塊執行所述更換。

2.如權利要求1所述的群集工具組件，其中，所述隔離閥、所述更換站和所述處理模塊以接口方式連接控制器，所述控制器包括用于在所述處理模塊保持在所述真空狀態下時協調所述更換站與所述處理模塊之間的訪問的傳送邏輯器和真空狀態控制裝置。

3.如權利要求2所述的群集工具組件，其中，所述控制器包括用于在所述處理模塊保持在所述真空狀態下時協調所述更換站與所述處理模塊之間的訪問的傳送邏輯器和真空狀態控制裝置。

4.如權利要求2所述的群集工具組件，其中所述更換站包括耦接到泵的真空控制裝置，所述真空控制裝置與所述控制器以接口方式連接，以協調所述泵的操作以在所述消耗部件的更換過程中將所述更換站保持在所述真空狀態下。

5.如權利要求1所述的群集工具組件，其中所述處理模塊被保持在真空 狀態下使得在所述消耗部件的更換之后所述處理模塊返回到激活操作之前所述處理模塊的再調節能減少。

6.如權利要求1所述的群集工具組件，

其中所述消耗部件是被配置為當襯底被設置在所述處理模塊的靜電卡盤上時圍繞所述襯底的邊緣環；

其中所述升降機構包括多個升降銷和致動器，使得安裝在所述處理模塊中的所述邊緣環能放置到所述升高位置；

致動器驅動器連接到所述致動器；和

控制器以接口方式連接所述致動器驅動器和所述更換站，以使所述邊緣環的更換能協調。

7.如權利要求6所述的群集工具組件，其中所述致動器被連接到功率源，所述功率源用于通過所述升降銷將功率供應給所述消耗部件，其中所供應的功率用于提供熱量給所述消耗部件。

8.一種群集工具組件，包括：

具有第一側和第二側的真空傳送模塊，所述真空傳送模塊包括機械手；

具有第一側和第二側的第一隔離閥，所述第一隔離閥的所述第一側耦接到所述真空傳送模塊的所述第一側；

耦接到所述第一隔離閥的所述第二側的更換站，所述更換站具有部件緩沖區，所述部件緩沖區包括用于容納新的或使用過的消耗部件的多個隔室；

具有第一側和第二側的第二隔離閥，所述第二隔離閥的所述第二側耦接到所述真空傳送模塊的所述第二側；和

耦接到所述第二隔離閥的所述第一側的處理模塊；

所述處理模塊具有升降機構，以使安裝在所述處理模塊中的消耗部件能移動到升高位置，所述升高位置使得所述真空傳送模塊的所述機械手能訪問，以使所述消耗部件能從所述處理模塊移除并存儲在所述更換站的所述部件緩沖區中，

所述真空傳送模塊的所述機械手被啟用以安裝來自所述部件緩沖區的用于所述消耗部件的更換件至所述處理模塊，

其中，所述升降機構被配置為接收被提供用于由所述機械手進行更換的 所述消耗部件并降低所述消耗部件至安裝位置，

其中，在所述更換站、所述真空傳送模塊和所述處理模塊被保持在真空狀態下時，由所述機械手和所述處理模塊的所述升降機構執行更換。