[發明專利]形成布線圖案的方法和用于形成布線圖案的蝕刻裝置有效
| 申請號： | 201610195708.6 | 申請日： | 2016-03-31 |
| 公開（公告）號： | CN106061124B | 公開（公告）日： | 2018-12-21 |
| 發明（設計）人： | 佐藤祐規;平岡基記;柳本博;臼井弘樹 | 申請（專利權）人： | 豐田自動車株式會社 |
| 主分類號： | H05K3/07 | 分類號： | H05K3/07;H05K3/06 |
| 代理公司： | 北京市中咨律師事務所 11247 | 代理人： | 賀月嬌;楊曉光 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 形成 布線 圖案 方法 用于 蝕刻 裝置 | ||
【說明書】：
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