[發明專利]包含脆性層的多層結構的切割方法有效
| 申請號: | 201610194831.6 | 申請日: | 2016-03-31 |
| 公開(公告)號: | CN106001932B | 公開(公告)日: | 2018-08-03 |
| 發明(設計)人: | 邱俊凱;謝詠明;黃國興;稻山尚利;磯本武彥;藤居孝英;陳長營 | 申請(專利權)人: | 財團法人工業技術研究院;日本電氣硝子株式會社 |
| 主分類號: | B23K26/38 | 分類號: | B23K26/38;B23K26/402 |
| 代理公司: | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人: | 任巖 |
| 地址: | 中國臺灣新竹*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 包含 脆性 多層 結構 切割 方法 | ||
【說明書】:
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