[發明專利]模具及其形成方法、圖像傳輸結構的形成方法

在審

• 申請號: 201610192240.5
• 申請日: 2016-03-30
• 公開（公告）號: CN107283691A
• 公開（公告）日: 2017-10-24
• 發明（設計）人: 朱虹;房偉;林崴平;凌嚴
• 申請（專利權）人: 上海瑞艾立光電技術有限公司
• 主分類號: B29C33/38
• 分類號: B29C33/38;H01L27/146
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司11227
• 代理人: 吳敏

技術領域

本發明涉及圖像傳感器領域，特別涉及一種模具及其形成方法、圖像傳輸結構的形成方法。

背景技術

內窺鏡是一種光學儀器，廣泛應用于胃腸、尿道等部分的臨床檢驗和引導手術。內窺鏡生產廠家和品牌眾多，結構形式多樣。

請參考圖1和圖2，為現有內窺鏡的示意圖。

圖1為剖面示意圖，圖2為端面示意圖，所述內窺鏡包括：導絲10、光通道20、圖像傳導通道30和供水供氣通道40。

所述圖像傳導通道30主要用于放置圖像攝取裝置，目前市場上常用的圖像攝取模塊有CCD、CMOS以及光纖束三種模式。

導光裝置設置在光通道內，為內窺鏡前端提供光源，光照亮前方組織后，其反射光通過透鏡后被CCD或CMOS傳感器接受，然后轉變成電信號傳輸到外部的控制器成像，供醫生參考。對于光纖束導像而言，透過透鏡的光直接通過光纖束傳到外部成像。

請參考圖3，為現有的圖像攝取模塊的結構示意圖。透鏡31通過機加工或模具注塑的方式獲得，然后通過機械裝置或膠固定到鏡筒33上，感光器件32設置在透鏡31后方的鏡筒33上，感光器件32輸出的電信號通過PCB板、數據線34傳到外部。

無論機加工還是注塑工藝形成的透鏡，由于機械加工工藝的限制，透鏡的尺寸都無法再做小，并且，生產效率低、工藝復雜，導致成本較高。

發明內容

本發明解決的問題是提供一種模具及其形成方法、圖像傳輸結構的形成方法，可以形成更小尺寸的透鏡結構。

為解決上述問題，本發明的技術方案提供一種模具的形成方法，包括：提供基底；在所述基底表面形成具有開口的掩膜層；沿所述開口刻蝕基底，在基底內形成凹槽，所述凹槽底部與側壁的連接處呈圓弧狀；形成覆蓋所述凹槽內部表面以及掩膜層的疏水性膜。

可選的，所述基底材料為玻璃。

可選的，所述掩膜層材料為氧化銦錫或氮化硅。

可選的，采用濕法刻蝕工藝刻蝕基底。

可選的，所述濕法刻蝕工藝采用的刻蝕溶液為氫氟酸溶液。

可選的，所述開口的最大寬度為3μm以上。

可選的，所述凹槽的深度為0.05mm～2mm。

可選的，所述疏水性膜為防污膜。

可選的，所述凹槽數量為兩個以上。

可選的，所述掩膜層的形成方法包括：在基底表面形成掩膜材料層之后，刻蝕掩膜材料層形成具有開口的掩膜層；或者采用絲網印刷工藝形成所述掩膜層。

本發明的技術方案還提供一種上述方法形成的模具，包括：基底；位于所述基底表面具有開口的掩膜層；位于所述開口下方的基底內的凹槽，所述凹槽底部與側壁的連接處呈圓弧狀；覆蓋所述凹槽內部表面以及掩膜層的疏水性膜。

本發明的技術方案還提供一種采用上述模具形成圖像傳輸結構的方法，包括：提供模具；形成覆蓋所述模具的疏水性膜并填充滿所述凹槽的透明的可流動膠層；在所述可流動膠層表面貼合感光芯片；將所述可流動膠層固化，形成固化膠層；將貼合有感光芯片的固化膠層與模具分離。

可選的，所述可流動膠層的材料為UV膠或硅膠。

可選的，采用紫外光照射或熱處理使所述可流動膠層固化。

可選的，采用真空吸盤吸附感光芯片，使所述貼合有感光芯片的固化膠 層與模具分離。

可選的，若干感光芯片相互分離，分別貼合至可流動膠層表面，并且分別與模具分離。

可選的，若干感光芯片形成于同一襯底上，同時貼合至可流動膠層表面，并且同時與模具分離；與模具分離后，還包括：切割所述襯底及固化膠層，使感光芯片相互分離。

可選的，所述感光芯片的數量與凹槽數量一致、且感光芯片位置與凹槽位置一一對應。

與現有技術相比，本發明的技術方案具有以下優點：

本發明的技術方案的模具的形成方法，通過刻蝕基底，在基底內形成凹槽，所述凹槽的底部與側壁連接處呈圓弧狀，然后再在基底表面形成疏水性膜。上述表面形成有疏水性膜的基底作為模具，用于制作透鏡，可以反復使用。后續通過在疏水性膜表面形成可流動性膠層，填充凹槽并固化，從而獲得表面具有弧狀結構的透鏡。由于疏水性膜表面不親水，所述固化后的可流動性膠層與基底之間的粘貼力較小，容易剝離。所述凹槽的尺寸決定形成的透鏡尺寸，所以，可以通過降低凹槽尺寸，形成小尺寸的透鏡。