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[發(fā)明專利]晶圓測(cè)試方法有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201610192125.8 申請(qǐng)日: 2016-03-30
公開(公告)號(hào): CN105895165B 公開(公告)日: 2019-04-09
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 朱淵源 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司
主分類號(hào): G11C29/56 分類號(hào): G11C29/56
代理公司: 上海浦一知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31211 代理人: 郭四華
地址: 201203 上海市浦東*** 國(guó)省代碼: 上海;31
權(quán)利要求書: 查看更多 說(shuō)明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 測(cè)試 方法
【說(shuō)明書】:
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