[發(fā)明專(zhuān)利]有減少的應(yīng)力靈敏度的微電機(jī)傳感器器件和對(duì)應(yīng)制造工藝有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610191890.8 | 申請(qǐng)日： | 2016-03-30 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN106517079B | 公開(kāi)（公告）日： | 2021-05-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | E·杜奇;S·康蒂 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 意法半導(dǎo)體股份有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | B81B7/00 | 分類(lèi)號(hào)： | B81B7/00;B81C3/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務(wù)所 11256 | 代理人： | 王茂華;張寧 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 減少 應(yīng)力 靈敏度 微電機(jī) 傳感器 器件 對(duì)應(yīng) 制造 工藝 | ||
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