[發(fā)明專利]基于模式增益損耗調(diào)控的高亮度半導(dǎo)體激光器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610191712.5 | 申請日： | 2016-03-30 |
| 公開（公告）號： | CN105680319B | 公開（公告）日： | 2018-07-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 汪麗杰;佟存柱;田思聰;舒世立;吳昊;戎佳敏;王立軍 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所 |
| 主分類號： | H01S5/06 | 分類號： | H01S5/06;H01S5/323 |
| 代理公司： | 長春菁華專利商標(biāo)代理事務(wù)所(普通合伙) 22210 | 代理人： | 劉慧宇 |
| 地址： | 130033 吉*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 基于 模式 增益 損耗 調(diào)控 亮度 半導(dǎo)體激光器 | ||
1.基于模式增益損耗調(diào)控的高亮度半導(dǎo)體激光器，其結(jié)構(gòu)由下至上依次為N面電極(10)、襯底(1)、緩沖層(2)、N型包層(3)、N型波導(dǎo)(4)、有源區(qū)(5)、P型波導(dǎo)(6)、P型包層(7)、P型蓋層(8)和P面電極(9)；N型波導(dǎo)(4)、有源區(qū)(5)和P型波導(dǎo)(6)組成激光器的波導(dǎo)層(12)，波導(dǎo)層(12)的折射率大于N型包層(3)和P型包層(7)的折射率，其特征是，在該半導(dǎo)體激光器臺面上刻有多個微孔(11)，所述多個微孔(11)設(shè)置在兩邊相應(yīng)于高階側(cè)模光場分布的波峰處，微孔(11)的數(shù)量從中心到邊緣遞增；微孔(11)深度從P面電極(9)的表面至P型包層(7)，且微孔(11)的底部與P型包層(7)下表面距離小于激光器波導(dǎo)層(12)的倏逝波長度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于模式增益損耗調(diào)控的高亮度半導(dǎo)體激光器，其特征是，微孔(11)的形狀是圓形、多邊形或兩者形狀的組合。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于模式增益損耗調(diào)控的高亮度半導(dǎo)體激光器，其特征是，微孔(11)的刻蝕深度相同或從中心向兩邊逐漸增大。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于模式增益損耗調(diào)控的高亮度半導(dǎo)體激光器，其特征是，微孔(11)內(nèi)表面覆蓋絕緣層。
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